PVD1612G真空鍍膜機(jī)配置表
　　一、真空機(jī)組
　　1、2X70旋片泵（南光）
　　2、RTO300S羅茨泵（萃曼）
　　3、TYFB3600分子泵（泰岳恒）
　　4、閥門：GDZ3X400A高閥（全不銹鋼結(jié)構(gòu)），維持閥、前級(jí)閥、預(yù)抽閥為GDQ100型（全不銹鋼結(jié)構(gòu)），DDC80電磁充氣閥（上海二閥），旁通閥為羅茨泵內(nèi)安裝閥；
　　5、管道為SUS304不銹鋼結(jié)構(gòu)，軟連接為波紋管
　　
　　二、罐體
　　1、太鋼SUS304不銹鋼帶水冷套結(jié)構(gòu)，內(nèi)尺寸1600*1200mm，內(nèi)壁板厚10mm，外壁板厚5mm；四組式靶筒；上蓋布置八對(duì)磁控靶孔位，兩對(duì)一組，共四組，內(nèi)部四對(duì)靶可調(diào)間距；罐體兩側(cè)布置兩個(gè)開門，門上各安裝四支弧源。
　　2、工件支桿2套，10mm
　　3、內(nèi)襯板2套
　　4、布?xì)夤苈?
　　5、放氣閥加裝空氣濾清器
　　三、標(biāo)準(zhǔn)件：密封圈，氣路部件（二位五通電磁閥為德國BURKERT產(chǎn)品），不銹鋼水閥，不銹鋼水路接頭，不銹鋼螺釘，壓力表，熱電偶，電機(jī)，減速機(jī)及木箱包裝等。
　　四、加熱器：編組U型管狀36KW，中心水冷法蘭安裝
　　
　　五、工件轉(zhuǎn)盤：下轉(zhuǎn)盤，24/18工位，自轉(zhuǎn)直徑120*180mm，帶屏蔽罩。
　　六、磁控靶：16支圓柱磁控靶，70*1020mm，定向?yàn)R射，直接冷卻，鈦靶材（可與平面靶互換）；工件架內(nèi)外側(cè)各四對(duì)，爐體上蓋板安裝。
　　七、弧源（含電源）鈦靶材95，氣動(dòng)引??；直流逆變弧電源DC160A（深圳瑞菱）
　　八、質(zhì)量流量計(jì)：德國BURKERT8711型，1000SCCM二臺(tái)，500SCCM二臺(tái)
　　九、全自動(dòng)電氣控制系統(tǒng)：三菱FX2N系列PLC及WEINVIEW觸摸屏、FCS410型氣體流量器、HY99401B復(fù)合計(jì)、FLX12型光柵閥角度控制器、接觸器、空開、斷路器、繼電器、開關(guān)按扭、島電溫控表、數(shù)字電壓表、變頻器、電位器、機(jī)柜、面板、布線（主要元件選用國外品牌，威德米勒，三菱，施耐德等）
　　十、偏壓電源：脈沖逆變PLS30KW（珠海盛普）
　　十一、中頻電源：中頻逆變MF40KW（珠海盛普/深圳新達(dá)）
　　十二、隨機(jī)備件：密封圈，軸承，油封，工具等。