PVD12512E真空鍍膜機配置表
　　一、真空機組
　　1、2X30旋片泵（南光）
　　2、2X70旋片泵（南光）
　　3、RTO300S羅茨泵（萃曼）
　　4、TYFB3600分子泵（泰岳恒）
　　5、閥門：GDZ2X400D高閥（全不銹鋼結(jié)構(gòu)），維持閥、前級閥、預抽閥為GDQ100型（全不銹鋼結(jié)構(gòu)），DDCY65、DDC80電磁充氣閥（上海二閥），旁通閥為羅茨泵內(nèi)安裝閥；
　　6、管道為SUS304不銹鋼結(jié)構(gòu)，軟連接為波紋管
　　
　　二、罐體
　　1、太鋼SUS304不銹鋼帶水冷套結(jié)構(gòu)，內(nèi)尺寸1250*1200mm，內(nèi)壁板厚8mm，外壁板厚4mm，鏡面拋光；門兩布置兩個式靶筒；上蓋布置四對磁控靶孔位，兩對一組，抽氣口兩側(cè)布置兩列四支弧源。
　　2、工件支桿2套，8mm
　　3、內(nèi)襯板2套
　　4、布氣管路
　　5、放氣閥加裝空氣濾清器
　　三、標準件：密封圈，氣路部件（二位五通電磁閥為德國BURKERT產(chǎn)品），不銹鋼水閥，不銹鋼水路接頭，不銹鋼螺釘，壓力表，熱電偶，電機，減速機及木箱包裝等。
　　四、加熱器：U型管狀18KW（中心＋周邊）
　　
　　五、工件轉(zhuǎn)盤：下轉(zhuǎn)盤，18工位，自轉(zhuǎn)直徑120mm，帶屏蔽罩。
　　六、磁控靶：8支圓柱磁靶，70*1040mm，定向濺射，直接冷卻，鈦靶材（可與平面靶互換）；兩支一對，工件架內(nèi)外側(cè)各二對，爐體上蓋板安裝。
　　七、弧源（含電源）鈦靶材100，氣動引??；直流逆變弧電源DC160A（深圳瑞菱）
　　八、質(zhì)量流量計：德國BURKERT 8711型，1000SCCM二臺，500SCCM二臺
　　九、全自動電氣控制系統(tǒng)：三菱FX2N系列PLC及WEINVIEW觸摸屏、FCS410型氣體流量控制器、HY99401B復合真空計、FLX12型光柵閥角度控制器、接觸器、空開、斷路器、繼電器、開關(guān)按鈕、島電溫控表、數(shù)字電壓表、變頻器、電位器、機柜、面板、布線（主要元件選用國外品牌，威德米勒，三菱，施耐德等）
　　十、偏壓電源：脈沖逆變PLS30KW（珠海盛普）
　　十一、中頻電源：中頻逆變MF40KW（珠海盛普/深圳新達）
　　十二、隨機備件：密封圈，軸承，油封，工具等