PVD1712A真空鍍膜機(jī)配置表
　　一、真空機(jī)組
　　1、2X70旋片泵（南光）
　　2、RTO300S羅茨泵（萃曼）
　　3、TYFB3600分子泵（泰岳恒）
　　4、閥門：GDZ3X400B高閥（全不銹鋼結(jié)構(gòu)），維持閥、前級閥、預(yù)抽閥為GDQ100型（全不銹鋼結(jié)構(gòu)），DDC80電磁充氣閥（上海二閥），旁通閥為羅茨泵內(nèi)安裝閥；
　　二、罐體
　　1、太鋼SUS304不銹鋼帶水冷套結(jié)構(gòu)，內(nèi)尺寸1700*1200mm，上蓋布置八對磁控靶孔位（其中四對預(yù)留），抽氣口兩側(cè)排布兩組六支弧源，門上兩個(gè)觀察窗。
　　2、工件支桿2套，10mm
　　3、內(nèi)襯板2套
　　4、布?xì)夤苈?
　　5、放氣閥加裝空氣濾清器
　　
　　三、標(biāo)準(zhǔn)件：密封圈，氣路部件（二位五通電磁閥為德國BURKERT產(chǎn)品），不銹鋼水閥，不銹鋼水路接頭，不銹鋼螺釘，壓力表，熱電偶，電機(jī)，減速機(jī)及木箱包裝等。
　　四、加熱器：U型管狀24KW（中心＋周邊）
　　五、工件轉(zhuǎn)盤：下轉(zhuǎn)盤，16工位，自轉(zhuǎn)直徑180mm，帶屏蔽罩。
　　六、磁控靶：四對圓柱磁控靶（8支），70*1040mm，定向?yàn)R射，直接冷卻，鈦靶材（可與平面靶互換），兩支一組，工件架內(nèi)外側(cè)各2對，爐體上蓋板安裝。
　　七、弧源（含電源）鈦靶材100，氣動引??；直流逆變弧電源DC160A（深圳瑞菱）
　　八、質(zhì)量流量計(jì)：德國BURKERT 8711型，1000SCCM二臺，500SCCM二臺

　　九、全自動電氣控制系統(tǒng)：三菱FX2N系列PLC及WEINVIEW觸摸屏、FCS410型氣體流量控制器、HY99401B復(fù)合真空計(jì)、FLX12型光柵閥角度控制器、接觸器、空開、斷路器、繼電器、開關(guān)按扭、島電溫控表、數(shù)字電壓表、變頻器、電位器、機(jī)柜、面板、布線（主要元件選用國外品牌，威德米勒，三菱，施耐德等）
　　十、偏壓電源：脈沖逆變PLS30KW（珠海盛普）
　　十一、中頻電源：中頻逆變MF40KW（珠海盛普）
　　十二、隨機(jī)備件：密封圈，軸承，油封，工具等。