FCS系列氣體流量控制器是基于MCS51系列單片機(jī)配合外圍器件，通過對三路或四路氣體質(zhì)量流量計(jì)的控制，實(shí)現(xiàn)鍍鍍機(jī)充氣系統(tǒng)自動運(yùn)行。本機(jī)可由用戶編程設(shè)定，對反應(yīng)氣體隨鍍膜時間變化進(jìn)行增減量控制。同時本機(jī)支持PS485或RS232通訊控制，支持開關(guān)量外部控制，也可連接機(jī)實(shí)現(xiàn)遠(yuǎn)程控制。
名稱：FCS330A
控制路數(shù)：3路
電源：AC220V-240V，50Hz
功率：80W
適配流量計(jì)：D07-7B（七星華創(chuàng)）；FC7700（美國AE）‘；匯博隆
流量范圍：5-999SCCM
安裝尺寸：面板480*120；機(jī)箱：440*120*330
自增功能：有
自減功能：無
外控接口：有
名稱：FCS330A
控制路數(shù)：3路
電源：AC220V-240V，50Hz
功率：80W
適配流量計(jì)：D07-7B（七星華創(chuàng)）；FC7700（美國AE）‘；匯博隆
流量范圍：5-999SCCM
安裝尺寸：面板480*120；機(jī)箱：440*120*330
自增功能：有
自減功能：無
外控接口：有
