PVD1516真空鍍膜機(jī)配置表
　　一、真空機(jī)組
　　1、2X30旋片泵（南光）
　　2、2X70旋片泵（南光）
　　3、RTO300S羅茨泵（萃曼）
　　4、KT500擴(kuò)散泵（真龍）
　　5、閥門：GDZ2X500A高閥（全不銹鋼結(jié)構(gòu)），維持閥、前級(jí)閥、預(yù)抽閥為GDQ100型（全不銹鋼結(jié)構(gòu)），DDC65、DDC80電磁充氣閥（上海二閥），旁通閥為羅茨泵內(nèi)安裝閥；
　　二、罐體
　　1、太鋼SUS304不銹鋼帶水冷套結(jié)構(gòu)，內(nèi)尺寸1500*1600mm，內(nèi)壁板厚10mm，外壁板厚5mm；十二支弧源位，分四列，每列三支交錯(cuò)排布。
　　2、工件支桿2套，19mm；
　　3、內(nèi)襯板2套
　　4、布?xì)夤苈?
　　5、放氣閥加裝空氣濾清器

　　三、標(biāo)準(zhǔn)件：密封圈，氣路部件（二位五通電磁閥為德國(guó)BURKERT產(chǎn)品），不銹鋼水閥，不銹鋼水路接頭，不銹鋼螺釘，壓力表，熱電偶，電機(jī)，減速機(jī)及木箱包裝等。
　　四、加熱器：編組U型管狀15KW，中心＋周邊
　　五、工件轉(zhuǎn)盤：下轉(zhuǎn)盤，6工位，自轉(zhuǎn)直徑370mm，帶屏蔽罩。
　　六、弧源（含電源）鈦靶材100，氣動(dòng)引??；直流逆變弧電源DC160A（深圳瑞菱）
　　七、質(zhì)量流量計(jì)：七星華創(chuàng)D07-7B 500SCCM
　　八、全自動(dòng)電氣控制系統(tǒng)：三菱FX2N系列PLC及WEINVIEW觸摸屏、FCS410型氣體流量控制器、HY99401B復(fù)合計(jì)、FLX12型光柵閥角度控制器、接觸器、空開(kāi)、斷路器、繼電器、開(kāi)關(guān)按扭、島電溫控表、數(shù)字電壓表、變頻器、電位器、機(jī)柜、面板、布線（主要元件選用國(guó)外品牌，威德米勒，三菱，施耐德等）
　　九、偏壓電源：脈沖逆變PLS30KW（珠海盛普等）
　　十、隨機(jī)備件：密封圖，軸承，油封，工具等。