光刻膠樹脂高速乳化機,聚合反應(yīng)高速乳化機,半導(dǎo)體光刻膠高速乳化機,LCD光刻膠乳化機,PCB光刻膠高速乳化機
光刻膠是指經(jīng)過不同波長的曝光光源進行曝光后,在曝光區(qū)域能夠發(fā)生交聯(lián)或光解,使其在顯影液中的物理性能,特別是溶解性或親疏水性發(fā)生變化的混合液體。光刻膠主要處于集成電路產(chǎn)業(yè)鏈的上游,通過蝕刻或離子注入等工藝進行微米級或納米級圖形的加工。光刻膠主要有成膜樹脂、感光劑、添加劑和溶劑等組成,其中,成膜樹脂直接決定光刻膠的綜合性能,是光刻膠的骨架組分。
現(xiàn)有技術(shù)的光刻膠樹脂單體在聚合成成膜樹脂的過程中,通常是加入引發(fā)劑并控制聚合反應(yīng)條件來完成光刻膠樹脂單體的聚合反應(yīng)以得到成膜樹脂,但是通過該方法制備得到的成膜樹脂的產(chǎn)率較低,聚合反應(yīng)時間較長,極大地增加了生產(chǎn)成本。
1、粒徑分布
粒徑分布不均勻會導(dǎo)致光刻膠膜層的不均勻,進而影響曝光過程中的光傳遞特性和圖形的質(zhì)量。通常,通過激光粒度分析儀來測定樹脂中顆粒的粒徑分布,測量結(jié)果顯示,理想的光刻膠樹脂粒徑應(yīng)控制在0.1μm到0.5μm之間。實驗數(shù)據(jù)顯示,光刻膠樹脂的粒徑范圍一般為0.15μm到0.4μm時,能夠確保圖案的精細性和穩(wěn)定性。若粒徑過大(>0.5μm),則容易造成膜層不均,影響曝光效果;若粒徑過小(<0.1μm),則可能導(dǎo)致樹脂的粘度過高,涂布困難,同時對圖案的精細度產(chǎn)生影響。
2、黏度、流動性
較高的黏度可以確保涂布時樹脂不易流動,能保證膜層的厚度穩(wěn)定,而過低的黏度則可能導(dǎo)致涂布不均勻,影響圖案質(zhì)量。實驗數(shù)據(jù)顯示,在常規(guī)工藝中,光刻膠樹脂的黏度應(yīng)控制在500 cP至1000 cP之間,通常以900 cP為宜。過高的黏度(>1200 cP)會導(dǎo)致樹脂的涂布困難,且會使膜層厚度不均,影響圖案的形成。黏度的測量一般使用旋轉(zhuǎn)式黏度計,通過在不同剪切速率下測量樹脂的流變特性,獲得其黏度值。在涂布過程中,樹脂的流動性也起著重要作用,流動性過差會導(dǎo)致膜層厚度不均,而流動性過好則可能導(dǎo)致涂布膜的厚度過薄。
3、溶解性與干膜厚度
溶解度的測量通常采用溶解時間測試,常規(guī)的光刻膠樹脂在常溫下應(yīng)能在30分鐘內(nèi)完全溶解,若溶解時間過長,可能意味著樹脂的配方不合理或含有不溶的雜質(zhì)。干膜厚度直接影響圖案的解析度和成像JING度,通常要求干膜厚度在0.5μm至2μm之間。在常規(guī)的光刻工藝中,干膜厚度一般控制在1μm左右。干膜厚度的測量可以通過精密的膜厚測量儀(如表面輪廓儀)完成。在實驗中,控制樹脂的涂布量和固化時間可以JING確調(diào)節(jié)干膜厚度,過薄的膜層可能導(dǎo)致圖形模糊,而過厚的膜層則可能影響曝光效果。
上海依肯
光刻膠樹脂制備工藝:
(1)油相的制備:甲基丙烯酸甲酯
(2)水相的制備:單體或引發(fā)劑
(3)制備:將步驟(1)中的油相與步驟(2)中的水相混合制得懸浮液,接著將所述懸浮液移入反應(yīng)釜中,在氮氣的氛圍中,加熱至120°,反應(yīng)10h后。將反應(yīng)液倒入正己烷中進行沉淀處理,固液分離后,得光刻膠。
影響分散乳化結(jié)果的因素有以下幾點
1 乳化頭的形式(批次式和連續(xù)式)(連續(xù)式比批次好)
2 乳化頭的剪切速率 (越大,效果越好)
3 乳化頭的齒形結(jié)構(gòu)(分為初齒,中齒,細齒,chao細齒,約細齒效果越好)
4 物料在分散墻體的停留時間,乳化分散時間(可以看作同等的電機,流量越小,效果越好)
5 循環(huán)次數(shù)(越多,效果越好,到設(shè)備的期限,就不neng zai好)
線速度的計算
剪切速率的定義是兩表面之間液體層的相對速率。
– 剪切速率 (s-1) = v 速率 (m/s) g 定-轉(zhuǎn)子 間距 (m)
由上可知,剪切速率取決于以下因素:
– 轉(zhuǎn)子的線速率
– 在這種請況下兩表面間的距離為轉(zhuǎn)子-定子 間距。 IKN 定-轉(zhuǎn)子的間距范圍為 0.2 ~ 0.4 mm
速率V= 3.14 X D(轉(zhuǎn)子直徑)X 轉(zhuǎn)速 RPM / 60
chaoX速分散均質(zhì)乳化機的高的轉(zhuǎn)速和剪切率對于獲得chao細微懸浮液是重要的。根據(jù)一些行業(yè)te殊要求,依肯公司在ERS2000系列的基礎(chǔ)上又開發(fā)出ERX2000chaoX速剪切乳化機機。其剪切速率可以chao過200.00 rpm,轉(zhuǎn)子的速度可以da到66m/s。在該速度范圍內(nèi),由剪切力所造成的湍流結(jié)合研制的電機可以使粒徑范圍小到納米。剪切力更強,乳液的粒經(jīng)分布更窄。由于能量密度ji gao,無需其他輔助分散設(shè)備,可以da到普通的高壓均質(zhì)機的400BAR壓力下的顆粒大小.
chaoX速分散乳化機是、kuai速、均勻地將一個相或多個相(液體、固體)進入到另一互不相溶的連續(xù)相(通常液體)的過程的設(shè)備的設(shè)備。當其中一種或者多種材料的細度da到微米數(shù)量時,甚至納米時,體系可被認為均質(zhì)。當外部能量輸入時,兩種物料重組成為均一相。高剪切均質(zhì)機由于轉(zhuǎn)子gao速旋轉(zhuǎn)所產(chǎn)生的高切線速度和高頻機械效應(yīng)帶來的強勁動能,使物料在定、轉(zhuǎn)子狹窄的間隙中受到強烈的機械及液力剪切、離心擠壓、液層摩擦、撞擊撕裂和湍流等綜合作用,形成懸浮液(固/液),乳液(液體/液體)和泡沫(氣體/液體)。高剪切均質(zhì)機從而使不相溶的固相、液相、氣相在相應(yīng)熟工藝和適量添加劑的共同作用下,shun間均勻精細的分散乳化,經(jīng)過高頻管線式高剪切分散均質(zhì)乳化機的循環(huán)往復(fù),#終得到穩(wěn)定的XX產(chǎn)品。
chaoX速分散乳化機應(yīng)用于:奶油 化妝品 牙膏 果汁 洗滌劑 漿糊 鹽溶液 催化劑 涂漆 、 聚合物乳化液 農(nóng)藥(除草劑 殺蟲劑) | ![]() | chaoX速分散乳化機te別應(yīng)用于:、 細胞破碎 脂肪乳、 注射液 混懸注射液、 膠體溶液、 金屬氧化物懸浮液、 墨水 芳綸 印刷涂料 色素混合等等 混懸液 |
chaoX速分散乳化機設(shè)備等:化工、衛(wèi)生I、衛(wèi)生II、無junchaoX速分散乳化機電機形式:普通馬達、變頻調(diào)速馬達、防爆馬達、變頻防爆馬達、氣動馬達chaoX速分散乳化機電源選擇: 380V/50HZ、220V/60HZ、440V/50HZchaoX速分散乳化機材質(zhì):SUS304 、SUS316L 、SUS316TichaoX速分散乳化機表面處理:拋光、nai磨處理chaoX速分散乳化機進出口聯(lián)結(jié)形式:法蘭、螺口、夾箍
標準流量(H2O) | 輸出轉(zhuǎn)速 | 標準線速度 | 馬達功率 | 進出口尺寸 | |
型號 | l/h | rpm | m/s | kW | |
ERX 2000/5 | 1,500 | 15,750 | 66 | 15 | DN40 /DN 32 |
ERX 2000/10 | 5,000 | 10,950 | 66 | 30 | DN50 / DN50 |
ERX 2000/20 | 10,000 | 7,300 | 66 | 55 | DN80 /DN 65 |
ERX 2000/30 | 30,000 | 4,000 | 66 | 90 | DN150 /DN 125 |
ERX 2000/50 | 50,000 | 3,000 | 66 | 160 | DN200 /DN 150 |
1 表中上限處理量是指介質(zhì)為“水”的測定數(shù)據(jù)。
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