NA MASTER(那諾-馬斯特)的NEE-4000是全自動(dòng)電子束蒸發(fā)系統(tǒng)，雙腔配置支持樣平臺(tái)所在的主腔體跟電子束源所在的二級(jí)腔體的真空分開控制，使得主腔體在放取片時(shí)二級(jí)腔體仍然保持真空狀態(tài)，大大處理效率。

電子束蒸發(fā)系統(tǒng)

        NA-MASTER(那諾-馬斯特) NEE-4000電子束蒸發(fā)系統(tǒng)為雙腔體的配置，其中樣品臺(tái)位于主腔體內(nèi)，二級(jí)腔體則用于安置電子束源。這種在兩個(gè)腔體之間帶有門閥的配置可以作為預(yù)真空鎖，使得電子束源腔體保持真空的情況下，實(shí)現(xiàn)基片通過(guò)主腔體放入基片到樣平臺(tái)(或夾具)上或從中取出。在需要自動(dòng)裝/卸載基片時(shí)，他可以通過(guò)第三方的預(yù)真空鎖來(lái)實(shí)現(xiàn)，這可以設(shè)置于立方體的左側(cè)。通過(guò)PC計(jì)算機(jī)控制，系統(tǒng)可以提供多電子束源的共蒸發(fā)能力，以及對(duì)組分或組分梯度進(jìn)行編程的能力。

產(chǎn)品特點(diǎn)：

• 順序蒸發(fā)或共蒸發(fā)

• 雙電子束源

• 多凹槽電子

• 可編程電子束掃描

• 10KW開關(guān)電源

• 渦輪分子泵，限真空5x10-7Torr

• 手動(dòng)上片，帶預(yù)真空鎖

• 自動(dòng)上片

• 材料和襯墊更換方便

• 晶振式膜厚監(jiān)測(cè)儀

• 通過(guò)LabView軟件實(shí)現(xiàn)PC計(jì)算機(jī)控制

• 菜單驅(qū)動(dòng)，四級(jí)訪問(wèn)保護(hù)

產(chǎn)品型號(hào)：

• NEE-3500：計(jì)算機(jī)全自動(dòng)控制的緊湊型系統(tǒng)

• NEE-4000：計(jì)算機(jī)全自動(dòng)控制的系統(tǒng)