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等離子刻蝕機(jī)（AME8100）
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等離子刻蝕機(jī)（AME8100）

產(chǎn)品價(jià)格：
電議
產(chǎn)品型號(hào)：
AME8100
供應(yīng)商等級(jí)：
免企業(yè)未認(rèn)證
經(jīng)營(yíng)模式：
工廠
企業(yè)名稱：
深圳市昊光機(jī)電科技應(yīng)用有限公司
所屬地區(qū)：
廣東省深圳市
發(fā)布時(shí)間：
2014/4/1 15:00:18

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王明先生(聯(lián)系我時(shí)，請(qǐng)說(shuō)明是在維庫(kù)儀器儀表網(wǎng)看到的，謝謝)

企業(yè)檔案

深圳市昊光機(jī)電科技應(yīng)用有限公司

免企業(yè)未認(rèn)證證營(yíng)業(yè)執(zhí)照未上傳

經(jīng)營(yíng)模式：工廠

所在地：廣東省 深圳市

主營(yíng)產(chǎn)品：泵及真空設(shè)備，其它設(shè)備及組件

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　　AME-8100等離子體刻蝕機(jī)用于反應(yīng)離子蝕刻氧化物，氮化物。可針對(duì)4"，5"或6"晶圓。
　　等離子體刻蝕機(jī)用于反應(yīng)離子蝕刻氧化物，氮化物?？舍槍?duì)4"，5"或6"晶圓。
　　設(shè)備描述：
　　1、真空系統(tǒng)：愛(ài)德華干泵＋I(xiàn)冷凝泵＋LEYBOLD分子泵
　　2、真空檢測(cè)：TC guage＋I(xiàn)ON gauge＋MKS薄膜壓力規(guī)
　　3、過(guò)程檢測(cè)：激光薄膜厚度檢測(cè)
　　4、工作氣體：5路工作氣體＋環(huán)行布?xì)庀到y(tǒng)
　　5、工件尺寸：4寸-6寸，可改進(jìn)到更大尺寸。如4寸，可裝載24片
　　6、工作電源：射頻功率源＋匹配箱
　　7、控制系統(tǒng)：全自動(dòng)工藝流程，高集成控制系統(tǒng)
　　8、保護(hù)：考慮因素，人性話設(shè)計(jì)。

聯(lián)系方式

深圳市昊光機(jī)電科技應(yīng)用有限公司

聯(lián)系人：
王明先生
手機(jī)：
86-13631617125
傳真：
86-755-26991745
所在地：
廣東省 深圳市
類型：
工廠
地址：
廣東省深圳市龍崗區(qū)坪地高橋工業(yè)區(qū)旭達(dá)高新產(chǎn)業(yè)園1棟

服務(wù)熱線

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