TYTAN爐系統(tǒng)用于半導(dǎo)體器件、微機(jī)電系統(tǒng)和光電池的制造。泰斯達(dá)已經(jīng)在安裝了數(shù)百個(gè)爐子，并且它們的運(yùn)轉(zhuǎn)都是成功的，一些系統(tǒng)的運(yùn)轉(zhuǎn)已經(jīng)過了20年。TYTAN爐是由各種組件和組合件組裝而成的的裝置。其機(jī)械部分、電子組件和復(fù)雜的石英制品都經(jīng)過的設(shè)計(jì)，以保護(hù)處理過程中的硅片的完整性。在操作工藝中，爐子在1300攝氏度的溫度下運(yùn)作，能夠暴露在有毒，且有腐蝕性的氣體和液體之中。
　　
　　在過去的30年內(nèi)，爐子的設(shè)計(jì)由于泰斯達(dá)公司不斷的更新，了其性能和耐用性。程序控制器經(jīng)過數(shù)次重復(fù)設(shè)計(jì)，以增強(qiáng)其操作的簡(jiǎn)易度和性。TYTAN爐系統(tǒng)的設(shè)計(jì)讓其具備了耐用性、穩(wěn)定性和適用性。TYTAN爐系統(tǒng)為硅晶片的加工行業(yè)提供了一個(gè)的途徑。隔熱包產(chǎn)品提供了更緊湊的爐體-其性能卻不打。這種設(shè)計(jì)導(dǎo)致了均勻性良好的處理工藝和更高的硅片生產(chǎn)產(chǎn)量。TYTAN技術(shù)優(yōu)勢(shì)為：
　　
　　■占地空間小，節(jié)約了40%的潔凈室空間
　　■優(yōu)質(zhì)的溫度和處理的均勻性
　　■正常運(yùn)行時(shí)間大于95%，生產(chǎn)能力突出
　　■在上，過競(jìng)爭(zhēng)對(duì)手設(shè)計(jì)的50%
　　■加工生產(chǎn)量更高
　　■了對(duì)氣體處理環(huán)境的控制
　　■倒流入爐管的空氣量小
　　■使用的氣體更少
　　■生成的顆粒少
　　■生產(chǎn)成本降低