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歐洲磁控濺射鍍膜儀
歐洲磁控濺射鍍膜儀
  • 歐洲磁控濺射鍍膜儀
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歐洲磁控濺射鍍膜儀

產(chǎn)品價(jià)格：
電議
產(chǎn)品型號(hào)：
MP700S
供應(yīng)商等級(jí)：
免企業(yè)未認(rèn)證
經(jīng)營(yíng)模式：
貿(mào)易商
企業(yè)名稱：
上海續(xù)波光電技術(shù)有限公司
所屬地區(qū)：
上海市
發(fā)布時(shí)間：
2013/12/19 23:29:51

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肖天宇先生(聯(lián)系我時(shí)，請(qǐng)說(shuō)明是在維庫(kù)儀器儀表網(wǎng)看到的，謝謝)

企業(yè)檔案

上海續(xù)波光電技術(shù)有限公司

免企業(yè)未認(rèn)證證營(yíng)業(yè)執(zhí)照已上傳

經(jīng)營(yíng)模式：貿(mào)易商

所在地：上海市

主營(yíng)產(chǎn)品：磁控濺射、電子束蒸鍍、加速器質(zhì)譜儀、石墨化系統(tǒng)

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圓柱形主腔體：電拋光不銹鋼

        低溫泵+干泵，真空度< 4×10 -8 Torr。

          三個(gè)6’’ DC磁控靶源，可達(dá)8英寸；

          分別配備擋板，無(wú)交叉污染。

          RF加載到DC靶源可選，可用DC/RF。

          氬氣和氮?dú)鈿饴房捎?/span>

4’’襯底加熱：750℃, 均勻性5℃內(nèi)；單色光學(xué)高溫計(jì)

          樣品臺(tái)冷卻：水冷

          石英晶振監(jiān)測(cè)（DC/RF模式下均可）

          襯底R(shí)F刻蝕及偏壓（13.56MHz，氣冷）

LOAD LOCK （帶自動(dòng)傳動(dòng)手臂）

          分子泵+干泵，真空度< 2×10-7 Torr

          全自動(dòng)傳動(dòng)襯底

控制單元：全自動(dòng)電腦控制，半自動(dòng)和手動(dòng)模式可選；遠(yuǎn)程維護(hù)可用。

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上海續(xù)波光電技術(shù)有限公司

聯(lián)系人：
肖天宇先生
手機(jī)：
15502170017
所在地：
上海市
類型：
貿(mào)易商
地址：
上海市普陀區(qū)中江路106號(hào)北岸長(zhǎng)風(fēng)I樓1507號(hào)

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