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真空系統(tǒng): 機械泵Oil pump/Dry pump + 渦輪分子泵/低溫泵/電磁泵
離子: DC / RF
均勻性:100 mm襯底 +/- 4%, 刻蝕速率降低均勻性+/-2%
襯底尺寸:4英寸襯底(4-12英寸可選),水冷。
終端檢測系統(tǒng):SIMS 或激光干涉儀。
控制方式:全自動電腦控制,半自動或手動控制可選。
詳細信息和資料,請聯(lián)系我們!
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