上海續(xù)波光電技術(shù)有限公司
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配置如下：
預(yù)處理腔：襯底旋轉(zhuǎn)、傾斜（3D）；真空度10-8 Torr
蒸發(fā)鍍膜腔：電子6-15KW；
可加載4英寸襯底；襯底旋轉(zhuǎn)、傾斜，和重復(fù)性0.01°（可升級）
真空度10-10 Torr或10-11 Torr
頻率分辨率10-4 Hz或更高；速率分辨率10-3 nm/s；厚度分辨率10-2 nm
氧化腔體：靜態(tài)/動(dòng)態(tài)氧化（氧氣、氮?dú)獾龋?/strong>
真空度<10-8 Torr
全自動(dòng)軟件包，支持半自動(dòng)和手動(dòng)模式，支持遠(yuǎn)程網(wǎng)絡(luò)操作和維護(hù)。
