概要
MT-30AM系列采用溫度變化對(duì)應(yīng)于質(zhì)量流量的原理，可以對(duì)不同的氣體進(jìn)行流量測(cè)量及控制。
可應(yīng)用在5SCCM到30SLM的氣體流量范圍，并且不會(huì)受到溫度及壓力變化的影響。
特點(diǎn)
o 模擬式熱質(zhì)式流量計(jì)/流量控制器：
- 低單價(jià),,高
- 環(huán)境溫度補(bǔ)正
- 可應(yīng)用的流率范圍廣：
- 0～5，10，20，30，50，100，200，500SCCM
- 0～1, 2, 3, 5, 10, 15, 20, 30SLM
o 高
±1%(≤15SLM)
±1.5%(＞15SLM.)
o 可選用MT系列控制模塊，具有數(shù)位顯示、電源供應(yīng)、流量設(shè)定等功能
o 國(guó)際兼容
應(yīng)用
o 工業(yè)設(shè)施的氣體供應(yīng)監(jiān)測(cè)/控制。
o 氣體分析設(shè)備。
o 固定氣體流量控制。
o 氣體混合或分離設(shè)備
標(biāo)準(zhǔn) 氣體質(zhì)量流量用氮?dú)?N2)標(biāo)定。
標(biāo)準(zhǔn)狀態(tài)規(guī)定為：
標(biāo)準(zhǔn)溫度………………0℃（273.15K）
標(biāo)準(zhǔn)壓強(qiáng)………………101325Pa
輸入輸出
格，,高 MT-30AM 模擬式系列 熱式質(zhì)量流量計(jì)/流量控制器 |
輸入設(shè)定電壓…………0～+5.00V
輸出電壓檢測(cè)…………0～+5.00V
(小體積型)
型號(hào)
MT-30AM | □ | □ | － | □□□ | － | □□□ | － | □ | □ | □ |
型式 | A | 模擬式 | ||||||||
B | 數(shù)字式 | |||||||||
功能 | M | 流量計(jì) | ||||||||
C | 流量控制器 | |||||||||
流量范圍 | ABC | |||||||||
氣體種類 | 013 | N2 | ||||||||
008 | Air | |||||||||
015 | O2 | |||||||||
004 | Ar | |||||||||
025 | CO2 | |||||||||
001 | He | |||||||||
FFF | 其他 | |||||||||
接頭 | 1/4”VCR | 1 | ||||||||
1/2”VCR | 2 | |||||||||
3”SWL | 3 | |||||||||
6”SWL | 4 | |||||||||
其他 | F | |||||||||
訊號(hào) | DC 0~5V | 1 | ||||||||
其他 | 2 | |||||||||
電源 | DC+/-15V | 1 |
流量范圍是以mL/min，L/min 為單位
例：
5mL/min 表示為005
500mL/min表示為500
50 L/min(nor) 表示為50L
功能 | 流量計(jì)/控制器 | |
基本型號(hào) | MT-30AM | |
滿量程流量范圍(N2) | SCCM | 0～5，10，20，30，50，100，200，500 |
SLM | 0～1, 2, 3, 5, 10, 15, 20, 30 | |
(％F.S) | ±1(≤15SLM) | |
±2(＞15SLM.) | ||
控制閥動(dòng)作型式 | 常閉式 | |
線性(％F.S.) | ±0.5～1(≤15SLM) | |
±2％(＞15SLM.) | ||
重復(fù)(％F.S.) | ±0.2 | |
響應(yīng)時(shí)間(sec) | ≤1 | |
流量輸出信號(hào) | 0-+5.00V | |
流量設(shè)定信號(hào) | 0-+5.00V | |
電器接頭 | DB15 pin(接頭) | |
工作環(huán)境溫度 | (℃) | 5～45 |
工作壓差 | (MPa) | 0.1～0.5 |
漏率 | SCCSHe | 1×10-9 |
耐壓 | 3MPa | |
介質(zhì)接觸材質(zhì) | 304，316，316L | |
密封材料 | 氟橡膠，硅橡膠，橡膠，聚四氟乙烯 | |
接頭 | VCR " 1/4、1/2 | |
Swagelok1/8”、1/4” 、3/8” 、1/2”或φ3、φ6、φ8、φ10、φ12mm | ||
接頭和尺寸 | Φ6mm,1/4"Swagelok:127×28×100mm 1/4"VCR:127×28×100mm | |
電源要求 | +15V,50mA;-15V,200mA | |
重量 | 0.75KG |
尺寸/定義圖
設(shè)定/顯示/電源一體型控制器 MT-1A
1: 輸出電源：+15V±5% 500mA -15V±5% 500mA 開孔尺寸：92×92mm 6： 顯示器：128×64點(diǎn)陣式液晶，高亮度寬溫（-20~70℃）液晶屏，畫面清晰LED背光 |
