MT-50A/M系列氣體質(zhì)量流量控制器
概要
MT-50A系列采用溫度變化對(duì)應(yīng)于質(zhì)量流量的 原理，可以對(duì)不同的氣體進(jìn)行流量量測(cè)及控制。
可應(yīng)用在 50SLM到 300SLM的氣體流量范圍， 并且不會(huì)受到溫度及壓力變化的影響。
產(chǎn)品系列完整，可選擇數(shù)字式，模擬式，普通， 高，高壓力型，性能且價(jià)格具有競(jìng)爭(zhēng)力，應(yīng) 用領(lǐng)域廣泛.
特點(diǎn)
o 模擬式熱質(zhì)式流量計(jì)/流量控制器：
- 低單價(jià)
- 環(huán)境溫度補(bǔ)正
- 可應(yīng)用的流率范圍廣： - 50,100,150,200,300SLM
o 高 ±2%
o 可選用MT系列控制模塊，具有數(shù)位顯示、電源 供應(yīng)、流量設(shè)定等功能
o 國(guó)際兼容
應(yīng)用
o 工業(yè)設(shè)施的氣體供應(yīng)監(jiān)測(cè)/控制。 o 氣體分析設(shè)備。 o 固定氣體流量控制。 o 氣體混合或分離設(shè)備
標(biāo)準(zhǔn)
氣體質(zhì)量流量用氮?dú)?N2)標(biāo)定。
標(biāo)準(zhǔn)狀態(tài)規(guī)定為：
標(biāo)準(zhǔn)溫度………………0℃（273.15K）
標(biāo)準(zhǔn)壓強(qiáng)………………101325Pa 輸入輸出 輸入設(shè)定電壓…………1～+5.00V或 4-20MA
輸出電壓檢測(cè)…………1～+5.00V或 4-20MA
選型
MT-50A | □ | □ | － | □□□ | － | □□□ | － | □ | □ | □ | |||
型式 | A | 模擬式 | |||||||||||
B | 數(shù)字式 | ||||||||||||
功能 | M | 流量計(jì) | |||||||||||
C | 流量控制器 | ||||||||||||
流量范圍 | ABC | ||||||||||||
氣體種類 | 013 | N2 | |||||||||||
008 | Air | ||||||||||||
015 | O2 | ||||||||||||
004 | Ar | ||||||||||||
025 | CO2 | ||||||||||||
001 | He | ||||||||||||
FFF | 其他 | ||||||||||||
接頭 | 1/4”VCR | 1 | |||||||||||
1/2”VCR | 2 | ||||||||||||
3”SWL | 3 | ||||||||||||
6”SWL | 4 | ||||||||||||
其他 | F | ||||||||||||
訊號(hào) | DC 1~5V | 1 | |||||||||||
4-20mA | 2 | ||||||||||||
電源 | DC24V | 1 | |||||||||||
流量范圍是以mL/min，L/min 為單位
例：
5mL/min 表示為005
500mL/min表示為500
50 L/min(nor) 表示為50L
參數(shù)
功能 | 流量計(jì)/控制器 | |
基本型號(hào) | MT-50A/M | |
滿量程流量范圍(N2) | SLM | 0～ 50, 60，70，80，90，100 |
SLM | 0～ 120, 150，170，180，190，200 | |
(％F.S) | ±1(≤15SLM) | |
±2(＞15SLM.) | ||
控制閥動(dòng)作型式 | 常閉式 | |
線性(％F.S.) | ±0.5～1(≤15SLM) | |
±2％(＞15SLM.) | ||
重復(fù)(％F.S.) | ±0.2 | |
響應(yīng)時(shí)間(sec) | ≤2 | |
流量輸出信號(hào) | 1——5.00V 4——20mA | |
流量設(shè)定信號(hào) | 1——-5.00V 4——20mA | |
電器接頭 | DB15 pin(接頭) | |
工作環(huán)境溫度 | (℃) | 5～45 |
工作壓差 | (MPa) | 0.1～0.5 |
漏率 | SCCSHe | 1×10-9 |
******耐壓 | 3MPa | |
介質(zhì)接觸材質(zhì) | 304，316，316L | |
密封材料 | 氟橡膠，硅橡膠，橡膠，聚四氟乙烯 | |
接頭 | VCR " 1/4、1/2 | |
Swagelok1/8”、1/4” 、3/8” 、1/2”或φ3、φ6、φ8、φ10、φ12mm | ||
尺寸 | 125×30×145 mm | |
電源要求 | 24VDC | |
重量 | 1.5KG |
