產(chǎn)品簡介
MT-200X系列氣體混合裝置滿足兩路氣體 任意配比,可滿足設定流量 配備以及設定濃度 配比!
氣體混合配比儀(混氣儀)的部件為氣體質(zhì)量流量控制器,可以對各組份氣體的流量進行控制,并配備混氣裝置,可以將各組份氣體均勻混合后輸出。
本系列產(chǎn)品可選擇直接連電腦和采用觸摸屏兩種方式進行設定顯示,操作簡單,性能且價格具有競爭力,應用領域廣泛。
產(chǎn)品特點
◆高:采用高質(zhì)量流量控制器,質(zhì)量流量控制器的 為±1%F.S.重復±0.2% F.S.,線性±0.5% F.S.(可定制更高);
◆氣體種類數(shù)量無限制:可同時配制2種到10多種標準氣體;
◆稀釋比范圍寬:可從1ppm到100%進行稀釋;
◆響應時間快:配比出穩(wěn)定濃度氣體的時間短,大大減少用戶試驗時間以及氣源消耗;
◆腐蝕:管路系統(tǒng)均采用標準316L不銹鋼配件,對腐蝕性氣體及有毒有害氣體均可以進行配氣;
◆混氣均勻:匯流處配有混氣裝置,讓進入其中的各支路氣體快速、均勻地混合;
◆擴展:除了氣體比例混合功能外,還可以根據(jù)用戶的一些要求加入定制功能,例如溫度、壓力顯示,濃度傳感等;
◆通訊方便:標準 RS485 通訊接口(可選),可與計算機實現(xiàn)雙向通訊;
◆數(shù)據(jù)管理功能:軟件控制界面可選帶有實驗數(shù)據(jù)保存與導出功能,讓您的實驗數(shù)據(jù)可查看。而且還帶有實驗數(shù)據(jù)曲線圖,清晰明了,直觀便捷。
應用行業(yè)
可廣泛用于氣體濃度傳感器校準、半導體以及特種材料研究(CVD)、等離子刻蝕、脫硫脫硝、焊接、氣調(diào)保鮮、、及微電子工業(yè)用混合氣的配制,主要使用對象是大中專 院校的實驗室、科研院所以及從事氣體分析儀器研發(fā)和氣測領域的高新技術企業(yè)。產(chǎn)品規(guī)格
總氣量范圍 | 0~200SLM(可在此范圍內(nèi)任意定制) |
稀釋配比范圍 | 1ppm到100 |
流量單位 | SCCM (標準毫升/分) / SLM(標準升/分) |
誤差 | ±1%F.S.(可定制更高) |
工作壓差范圍 | 0.1~0.5MPa |
耐壓 | 3MPa(可定制更高) |
對外單點泄漏率 | ≤1×10-9Pa·m3/S(He) |
響應時間 | ≤2sec |
輸出信號 | 標準RS485.RS232(可選) |
介質(zhì)輸入溫度 | 5~45℃ |
工作環(huán)境溫度 | 5~45℃ |
工作環(huán)境濕度 | <80RH |
供電電源 | 220VAC±10,50Hz |
介質(zhì)接觸材質(zhì) | 氟橡膠,硅橡膠,丁晴橡膠,聚四氟乙烯,金屬密封型 |
接頭尺寸 | 3mm,6mm, 1/8,1/4, |
顯示方式 | 電腦/觸摸屏 |