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engis化合物材料拋光設備InP GaAs 背面拋光
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engis化合物材料拋光設備InP GaAs 背面拋光

產品價格:
電議
產品型號:
EJ-380INWS
產品品牌:
ENGIS
供應商等級:
企業(yè)未認證
經(jīng)營模式:
貿易商
企業(yè)名稱:
上海瞻馳光電科技有限公司
所屬地區(qū):
上海市
發(fā)布時間:
2017/8/4 10:18:49

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單面拋光設備: 

設備的設計理念及特征 
本設備是搭載φ300mm(12英寸)定盤的高、率的拋光機。任何人通過配置在設 
備后部的臺式定盤修正機都可以容易的實現(xiàn)定盤平面度數(shù)μm以內的修正,從而實現(xiàn) 
高拋光加工。 
主要規(guī)格: 
設備型號EJ-380INWS 
定盤直徑外徑φ380mm×內徑φ140mm(標準尺寸) 
水冷部位密閉型冷卻水循環(huán)式(內循環(huán)分離式) 
主電機0.4Kw 
定盤轉速10~150rpm 付低速開始/低速停止功能 
加工軸數(shù)量2軸 
修正圈外徑φ178mm×內徑φ140mm(ACR-102S) 
加壓方式自重加壓 
《裝置》緊急停止按鈕設備正面1個φ30mm 按壓鎖定重置式 
《設備概要》 
尺寸705mm×750mm×680mmH*含塵蓋高度 
重量100Kg(NET)



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