單面拋光設備:
設備的設計理念及特征
本設備是搭載φ300mm(12英寸)定盤的高、率的拋光機。任何人通過配置在設
備后部的臺式定盤修正機都可以容易的實現(xiàn)定盤平面度數(shù)μm以內的修正,從而實現(xiàn)
高拋光加工。
主要規(guī)格:
設備型號EJ-380INWS
定盤直徑外徑φ380mm×內徑φ140mm(標準尺寸)
水冷部位密閉型冷卻水循環(huán)式(內循環(huán)分離式)
主電機0.4Kw
定盤轉速10~150rpm 付低速開始/低速停止功能
加工軸數(shù)量2軸
修正圈外徑φ178mm×內徑φ140mm(ACR-102S)
加壓方式自重加壓
《裝置》緊急停止按鈕設備正面1個φ30mm 按壓鎖定重置式
《設備概要》
尺寸705mm×750mm×680mmH*含塵蓋高度
重量100Kg(NET)