產(chǎn)品型號(hào):膜厚測(cè)試儀CMI900
X射線熒光光譜儀
快速的分析:正比計(jì)數(shù)探測(cè)器和50瓦微焦X射線管,大大了靈敏度
簡(jiǎn)單的元素區(qū)分:二次光束過(guò)濾器可以分離重疊元素
性能優(yōu)化,測(cè)量元素范圍廣: 可預(yù)設(shè)參數(shù)
CMI900 提供800多種預(yù)設(shè)應(yīng)用參數(shù)/方法
出的長(zhǎng)期穩(wěn)定性:
自動(dòng)熱補(bǔ)償測(cè)量?jī)x器溫度,糾正變化,提供穩(wěn)定的結(jié)果
簡(jiǎn)單快速的光譜校準(zhǔn),定期檢查儀器性能(如靈敏度),并提供要的糾正
堅(jiān)固耐用的設(shè)計(jì)
可以在實(shí)驗(yàn)室或生產(chǎn)線上操作
堅(jiān)固的工業(yè)設(shè)計(jì)
經(jīng)行業(yè)驗(yàn)證的技術(shù),在銷(xiāo)售量過(guò)3000臺(tái)
要特點(diǎn)
測(cè)量范圍寬,可檢測(cè)元素范圍:Ti22–U92;
可同時(shí)測(cè)定5層/15種元素/共存元素較正;
高、穩(wěn)定性好;
強(qiáng)大的數(shù)據(jù)統(tǒng)計(jì)、處理功能;
NIST的標(biāo)準(zhǔn)片;
服務(wù)及支持。
參數(shù)介紹:
1.X射線激發(fā)系統(tǒng)
垂直下照式X射線光學(xué)系統(tǒng)
空冷式微聚焦型X射線管,Be窗
標(biāo)準(zhǔn)靶材:Rh靶;任選靶材:W、Mo、Ag等
功率:50W(4-50kV,0-1.0mA)
裝備有射線光閘
二次X射線濾光片:3個(gè)位置程控交換,多種材質(zhì)、多種厚度的二次濾光片任選
2.準(zhǔn)直器系統(tǒng)
單準(zhǔn)直器組件、多準(zhǔn)直器自動(dòng)控制組件:多可同時(shí)裝配6種規(guī)格的準(zhǔn)直器
多種規(guī)格尺寸準(zhǔn)直器任選:
-圓形,如4、6、 8、 12、13、20 mil等
即0.102、0.152、0.203、0.305、0.330、0.508mm
-矩形,如1x2、2x2、0.5x10、1x10、2x10、4x16mil等
即0.025*0.05、0.05*0.05、0.013*0.254、0.025*0.254、0.051*0.254、0.102*0.406mm
測(cè)量斑點(diǎn)尺寸在12.7mm聚焦距離時(shí),小測(cè)量斑點(diǎn)尺寸為:0.078 x 0.055 mm(使用0.025 x 0.05 mm<即1x2mil>準(zhǔn)直器)在12.7mm聚焦距離時(shí),測(cè)量斑點(diǎn)尺寸為:0.38 x 0.42 mm(使用0.3mm<即圓形12mil>準(zhǔn)直器)
3.樣品室
開(kāi)槽式樣品室樣品臺(tái)尺寸610mm x 610mmXY軸移動(dòng)范圍標(biāo)準(zhǔn):152.4 x 177.8mm<程控> Z軸程控移動(dòng)高度43.18mmXYZ軸控制方式多種控制方式任選:XYZ三軸程序控制;XY軸手動(dòng)控制和Z軸程序控制;XYZ三軸手動(dòng)控制
4.樣品觀察系統(tǒng)
高分辨彩色CCD觀察系統(tǒng),標(biāo)準(zhǔn)放大倍數(shù)為30倍。50倍和100倍觀察系統(tǒng)任選。激光自動(dòng)對(duì)焦功能可變焦距控制功能和固定焦距控制功能計(jì)算機(jī)系統(tǒng)配置IBM計(jì)算機(jī)