透 反 射 高 清 金 相 顯 微 鏡
FM-JX 100
一、透反射高清金相顯微鏡
透反射高清金相顯微鏡是針對(duì)半導(dǎo)體工業(yè)、硅片制造業(yè)、電子信息產(chǎn)業(yè)、冶金工業(yè)需求而開發(fā)的，作為金相顯微鏡用戶在使用時(shí)能夠體驗(yàn)其強(qiáng)性能，可廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體、FPD、電路封裝、電路基板、材料、鑄件/金屬/陶瓷部件、精密模具的檢測(cè)。
透反射高清金相顯微鏡采用了落射和兩種照明型式，在落射照明下可進(jìn)行明暗場(chǎng)觀察和DIC觀察、偏光觀察。在光下作明場(chǎng)觀察。穩(wěn)定、的光學(xué)系統(tǒng)使成像更清晰，襯度更好。合人機(jī)工程學(xué)的設(shè)計(jì)，使您在工作中感到舒適和放松。
二、主要技術(shù)參數(shù)
名 稱 | 參 數(shù) |
光學(xué)系統(tǒng) | 無(wú)限遠(yuǎn)光學(xué)系統(tǒng)，鏡筒透鏡f=200mm |
觀察鏡筒 | 三目鏡筒（帶有0.3XCCD適配鏡） |
目 鏡 | 1、寬視場(chǎng)平場(chǎng)目鏡WF10X/26mm 2、WF10X/22mm，帶0.1mm十字分劃板 |
物 鏡 | 長(zhǎng)工作距離平場(chǎng)無(wú)限遠(yuǎn)明/暗場(chǎng)物鏡：5X/NA0.20(W.D=14.47mm)、10X/NA0.25(W.D=16.0mm)、20X/NA0.40(W.D=10.5mm)、50X/NA0.55(W.D=5.1mm) |
物鏡轉(zhuǎn)換器 | 帶DIC插孔的大四孔轉(zhuǎn)換器 |
載物臺(tái) | 精密測(cè)量平臺(tái)，移動(dòng)范圍50mmX50mm，3u+L/25 |
濾 | 濾（綠、藍(lán)、中性） |
調(diào)焦 | 電動(dòng)調(diào)焦 |
光源 | 照明： LED燈5W,寬電壓AC85V—260V,亮度連續(xù)可調(diào) 反射照明：科勒照明鹵素?zé)?2V50W,寬電壓AC85V—260V,亮度連續(xù)可調(diào),帶孔徑光闌和視場(chǎng)光闌 |
偏光裝置 | 檢偏鏡可360度旋轉(zhuǎn)。起偏鏡、檢偏鏡均可移出光路 |
檢測(cè)工具 | 標(biāo)準(zhǔn)標(biāo)尺：0.01mm測(cè)微尺 |
選購(gòu)件 | 1、 帶測(cè)量功能的金相圖像分析軟件 2、 微分干涉（DIC）裝置 3、長(zhǎng)工作距離平場(chǎng)無(wú)限遠(yuǎn)明/暗場(chǎng)物鏡：80X/0.75(W.D=4.0mm)、100X/0.80(W.D=3.0mm) 4、300萬(wàn)像素、500萬(wàn)像素、800萬(wàn)像素、1000萬(wàn)像素CMOS 5、數(shù)顯光柵尺 6、旋轉(zhuǎn)工作臺(tái) |
