精 密 測 量 顯 微 鏡
FM-CL100C
一、精密測量顯微鏡——用途
精密測量顯微鏡是針對半導(dǎo)體工業(yè)、硅片制造業(yè)、電子信息產(chǎn)業(yè)、冶金工業(yè)開發(fā)的。作為金相顯微鏡使用，可用來鑒別和分析各種金屬和合金的組織結(jié)構(gòu)，可廣泛應(yīng)用在工廠或?qū)嶒炇疫M(jìn)行鑄件質(zhì)量的鑒定、原材料的檢驗或?qū)Σ牧咸幚砗蠼鹣嘟M織的研究分析等工作。
二、主要技術(shù)參數(shù)
目 鏡 | 類 別 | 放 大 倍 數(shù) | 目視場直徑（毫米） |
寬視場平場目鏡 | 10倍 | Φ26 | |
0.1mm十字分劃目鏡 | 10倍 | Φ22 |
物鏡 | 類 別 | 放大倍數(shù) | 數(shù)值孔徑（NA） | 系 統(tǒng) | 工作距離（毫米） |
95mm平場無限遠(yuǎn)長工作距離復(fù)消色差
| 5倍 | 0.15 |
干 | 44 | |
10倍 | 0.30 | 34 | |||
20倍 | 0.35 | 29 | |||
50倍 | 0.50 | 17 |
顯微鏡的總放大倍率 | 物 鏡 | 目 鏡 | 鏡筒系數(shù) | 總放大倍數(shù) |
5X |
10X
| 1X | 50X | |
10X | 100X | |||
20X | 200X | |||
50X | 500X |
名 稱 | 參 數(shù) | 名 稱 | 參 數(shù) |
光學(xué)系統(tǒng) | 無限遠(yuǎn)光學(xué)系統(tǒng) | 調(diào)焦方式 | 電動調(diào)焦 |
觀察頭 | 三目正像（帶有0.3XCCD適配鏡） | 儀器基座 | 大理石 |
鏡筒透鏡 | 焦距f=250毫米 | 顯示裝置 | 調(diào)、方向轉(zhuǎn)換、數(shù)據(jù)輸出、TTL訊號 |
偏光裝置 | 檢偏鏡可360°旋轉(zhuǎn)。起偏鏡和檢偏鏡均可移出光路 | ||
照明方式 | 落射照明（12V50W鹵素?zé)簦?，下照明?/span>5WLED） | ||
載物臺 | XY行程200mm×200mm。測量方式：計量光柵。分辨率：0.001mm浮動的功能： X和Y軸快速移動功能 | ||
選購件 | 1、300萬像素、500萬像素、800萬像素、1000萬像素COMOS。 2、二維測量軟件 3、物鏡：2X、100X 4、顯微光譜儀 | ||
