1.             光機電一體化設計，外形結(jié)構(gòu)簡單；

2.             掃描探頭和樣品臺集成一體，干擾能力強；

3.             精密激光檢測及探針定位裝置，光斑調(diào)節(jié)簡單，操作方便；

4.             采用樣品趨近探針方式，使針尖垂直于樣品掃描；

5.             伺服馬達手動或自動脈沖控制，驅(qū)動樣品垂直接近探針，實現(xiàn)掃描區(qū)域定位；

6.             高大范圍的樣品移動裝置，可自由移動感興趣的樣品掃描區(qū)域；

7.             高大范圍的壓電陶瓷掃描器，根據(jù)不同和掃描范圍要求選擇；

8.             自由變倍的CCD觀測系統(tǒng)，實時觀測與定位探針掃描樣品區(qū)域；

9.             采用伺服馬達控制CCD對焦和光學放大；

10.      模塊化的電子控制系統(tǒng)設計，便于電路的持續(xù)改進與維護；

11.    集成多種掃描工作模式控制電路，配合軟件系統(tǒng)使用。

1.             多通道圖像同步采集顯示，實時查看剖面圖；

2.             多種曲線力-間距(F-Z)、頻率-RMS（f-RMS）、RMS-間隙（RMS-Z）測量功能；

3.             可進行掃描區(qū)域偏移、剪切功能，任意選擇感興趣的樣品區(qū)域；

4.             可任意選擇樣品起始掃描角度；

5.             激光光斑檢測系統(tǒng)的實時調(diào)整功能；

6.             針尖共振峰自動和手動搜索功能；

7.             可任意定義掃描圖像的色板功能；

8.             支持樣品傾斜線平均、偏置實時校正功能；

9.             支持掃描器靈敏度校正和電子學控制器自動校正；

三、主要技術(shù)參數(shù)

名  稱

參  數(shù)

名  稱

參  數(shù)