VEGA 3 EasyProbe是的一款SEM/EDS一體機。
SEM技術(shù)參數(shù)： 1.分辨率:高真空(SE)3.0nm at 30kv，8.0nm at 3kv
2.放大倍數(shù):4.5 to&tim;
3.真空系統(tǒng):高真空<9*10 -a，
4.加速電壓0.2kV to 30Kv
5.電子束電流1pA—20uA
6.樣品室內(nèi)部直徑：160mm
7.樣品臺行程:
3軸馬達控制
X=45mm——馬達控制
Y=45mm——馬達控制
Z=27mm——手動控制
Z'=6mm——手動控制
R=360°連續(xù)馬達控制
T=-90°至 90°手動
樣品高度36mm. EDS技術(shù)參數(shù)：
分辨率： 133eV(Mn Kα) at 100,000cps
探頭類型： XFlash TM Detector 410 M, 面積 10mm2
探頭窗口： SLEW，探測元素從B(5)到Am(95)
探頭冷卻： Peltier couple (無需液氮)
輸入計數(shù)率： 150kcps
定量： 無標(biāo)樣 PB-ZAF
主要特點： VEGA 3 EasySEM可以觸摸屏進行控制和操作，具有圖像操作和處理功能以及一鍵式EDX分析工具欄。 當(dāng)一鍵式EDX工具被激活時，系統(tǒng)顯示實時SEM圖片上選定區(qū)域的定量分析結(jié)果。
系統(tǒng)根據(jù)用戶的技能水平可分為3個等級對電鏡進行控制。電鏡的功能都由觸摸屏或鍵盤，鼠標(biāo)和軌跡球或者選配的控制臺通過Window?平臺上的VegaTC軟件控制。