TSV1200-S型多功能磁控濺射鍍膜機(jī)
應(yīng)用范圍：手機(jī)外殼，MP3外殼，數(shù)碼相機(jī)外殼，各種標(biāo)牌的裝飾改性加硬鍍膜?？慑兡樱旱仯═iN），氮碳化鈦（TiCN），氮化鋯（ZrN），氮化鉻（CrN），氮化鋁鈦（TiAlN），碳化鈦（TiC）等。顏色：金色，銀色，黑色蘭色等等。
主要特點(diǎn)：
1，側(cè)面雙開門結(jié)構(gòu)，便于裝片和換靶
2，設(shè)計(jì)預(yù)濺射擋板，工藝控制簡便，節(jié)省時(shí)間
3，設(shè)計(jì)的充氣和抽氣系統(tǒng)，鍍膜區(qū)寬
4，脈沖偏壓非平衡對靶中頻磁控濺射技術(shù)，鍍膜質(zhì)量穩(wěn)定
5，采用PLC工控機(jī)控制，可實(shí)現(xiàn)設(shè)備和工藝手動和自動控制，多重泵閥水電互鎖互保護(hù)
6，安裝采用四質(zhì)譜監(jiān)控和氦質(zhì)譜檢漏，真空密封性好，設(shè)備工藝穩(wěn)定
7，轉(zhuǎn)動采用磁流體引入，長期運(yùn)轉(zhuǎn)密封
8，綜合效率高，裝片量大。50X70mm工件，可裝800片
9，部件采用國內(nèi)，電器元件采用或合資企業(yè)產(chǎn)品，設(shè)備長期運(yùn)行穩(wěn)定。
主要技術(shù)參數(shù)和配置：
（一），真空系統(tǒng)技術(shù)指標(biāo)
1，限真空：2×10-a；
2，抽速：大氣到5×10-a≤30mm（空載，冷態(tài)，潔凈）；
3，壓升率：小于0.5Pa／hr。
（二），真空室和真空系統(tǒng)配置
1，鍍膜室尺寸：1210mm（直徑）×1200mm（高）；
2，采用側(cè)面對開雙門方式，便于工件裝卸；
3，外壁通冷卻水，冷卻水管采用半圓管焊接方式，焊縫美觀，平整；
4，3個觀察窗口，左右門上各一個，室體正前方一個；
5，抽氣室內(nèi)安裝一個旋轉(zhuǎn)抽氣擋板，旋轉(zhuǎn)角度范圍0～90°
6，兩臺φ400mm口徑分子泵；
7，1臺ZJP300型羅茨泵，增加氣動旁通閥；
8，2臺2X-70型機(jī)械泵，一臺為粗抽泵，一臺為分子泵維持泵；
9，φ400mm口徑高真空氣動閥2套；
（三），工件掛架以及驅(qū)動裝置
1，一套公，自轉(zhuǎn)工轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)，采用下驅(qū)動方式的二維平面行星機(jī)構(gòu)，自轉(zhuǎn)軸20根；
2，轉(zhuǎn)速0-8圈／分鐘可控可調(diào)；
3，驅(qū)動引入采用磁流體密封；
（四），真空測量系統(tǒng)
1，采用一臺數(shù)字式復(fù)合真空計(jì)；
2，一路高真空測量，兩路低真空測量（室體一路，低真空管道一路）。
?。ㄎ澹?，磁控濺射陰靶
1，四對磁控濺射靶（四只外裝靶，四只內(nèi)裝靶，共八只靶）
2，磁控濺射靶靶材尺寸：912mm×120mm（長×寬）；
（六），加熱系統(tǒng)
1，6只加熱器，沿室壁圓周分布，每只功率3KW，加熱總功率18KW；
2，金屬鎧裝熱電偶一只，安裝于室體頂部；
3，烘烤溫度300℃，能實(shí)現(xiàn)溫度自動控制；
4，加熱器引入采用金屬密封。
?。ㄆ撸鋮s系統(tǒng)
1、真空室冷卻
2、八個靶體冷卻
3、分子泵，羅茨泵冷卻
4、冷卻水測溫，并報(bào)警
（八），供氣系統(tǒng)
1、4路進(jìn)氣（Ar，N2，O2，C2H2），1個混氣罐；
2、4只AE質(zhì)量流量計(jì)，4只電磁截止閥，4只手動針閥；
3、氣路管道采用外徑1／4″不銹鋼管，配均勻布?xì)夤堋?
?。ň牛?，預(yù)濺射擋板
1，擋板邊緣折邊，增加強(qiáng)度，避免烘烤熱變形；
2，驅(qū)動引入密封采用磁流體密封。
（十），濺射及偏壓供電系統(tǒng)：
1、3套30K濺射電源：
2、一套PLS-30K型脈沖偏壓電源
?。ㄊ唬刂茊卧?
1、控制系統(tǒng)：采用機(jī)（工控機(jī)）＋下位機(jī)（PLC）的控制形式，工控機(jī)向PLC發(fā)送命令，PLC去控制真空系統(tǒng)，加熱系統(tǒng)，轉(zhuǎn)動系統(tǒng)。
2、真空控制有手動和自動，自動包括四個過程：真空，連續(xù)，取件，停機(jī)。
3、靶控制也有手動和自動，自動主要以時(shí)間和功率來控制能保存和調(diào)用工藝參數(shù)。
4、報(bào)警系統(tǒng)有泵，靶斷水報(bào)警，系統(tǒng)氣壓低報(bào)警等，全系統(tǒng)具有爆，互保護(hù)，泵閥互鎖
?。ㄊ┰O(shè)備動力要求
水源：工業(yè)軟水，水壓0.2～0.3Mpa，水量～50L／min，進(jìn)水溫度≤25℃；
氣源：氣壓0.6MPa；
電源：三相五線制380V，50Hz，波動范圍±5％：功率≥60KW，150KW
?。ㄊ┱嫉孛娣e：3200長X4200寬X2100高
應(yīng)用范圍：手機(jī)外殼，MP3外殼，數(shù)碼相機(jī)外殼，各種標(biāo)牌的裝飾改性加硬鍍膜?？慑兡樱旱仯═iN），氮碳化鈦（TiCN），氮化鋯（ZrN），氮化鉻（CrN），氮化鋁鈦（TiAlN），碳化鈦（TiC）等。顏色：金色，銀色，黑色蘭色等等。
主要特點(diǎn)：
1，側(cè)面雙開門結(jié)構(gòu)，便于裝片和換靶
2，設(shè)計(jì)預(yù)濺射擋板，工藝控制簡便，節(jié)省時(shí)間
3，設(shè)計(jì)的充氣和抽氣系統(tǒng)，鍍膜區(qū)寬
4，脈沖偏壓非平衡對靶中頻磁控濺射技術(shù)，鍍膜質(zhì)量穩(wěn)定
5，采用PLC工控機(jī)控制，可實(shí)現(xiàn)設(shè)備和工藝手動和自動控制，多重泵閥水電互鎖互保護(hù)
6，安裝采用四質(zhì)譜監(jiān)控和氦質(zhì)譜檢漏，真空密封性好，設(shè)備工藝穩(wěn)定
7，轉(zhuǎn)動采用磁流體引入，長期運(yùn)轉(zhuǎn)密封
8，綜合效率高，裝片量大。50X70mm工件，可裝800片
9，部件采用國內(nèi)，電器元件采用或合資企業(yè)產(chǎn)品，設(shè)備長期運(yùn)行穩(wěn)定。
主要技術(shù)參數(shù)和配置：
（一），真空系統(tǒng)技術(shù)指標(biāo)
1，限真空：2×10-a；
2，抽速：大氣到5×10-a≤30mm（空載，冷態(tài)，潔凈）；
3，壓升率：小于0.5Pa／hr。
（二），真空室和真空系統(tǒng)配置
1，鍍膜室尺寸：1210mm（直徑）×1200mm（高）；
2，采用側(cè)面對開雙門方式，便于工件裝卸；
3，外壁通冷卻水，冷卻水管采用半圓管焊接方式，焊縫美觀，平整；
4，3個觀察窗口，左右門上各一個，室體正前方一個；
5，抽氣室內(nèi)安裝一個旋轉(zhuǎn)抽氣擋板，旋轉(zhuǎn)角度范圍0～90°
6，兩臺φ400mm口徑分子泵；
7，1臺ZJP300型羅茨泵，增加氣動旁通閥；
8，2臺2X-70型機(jī)械泵，一臺為粗抽泵，一臺為分子泵維持泵；
9，φ400mm口徑高真空氣動閥2套；
（三），工件掛架以及驅(qū)動裝置
1，一套公，自轉(zhuǎn)工轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)，采用下驅(qū)動方式的二維平面行星機(jī)構(gòu)，自轉(zhuǎn)軸20根；
2，轉(zhuǎn)速0-8圈／分鐘可控可調(diào)；
3，驅(qū)動引入采用磁流體密封；
（四），真空測量系統(tǒng)
1，采用一臺數(shù)字式復(fù)合真空計(jì)；
2，一路高真空測量，兩路低真空測量（室體一路，低真空管道一路）。
?。ㄎ澹?，磁控濺射陰靶
1，四對磁控濺射靶（四只外裝靶，四只內(nèi)裝靶，共八只靶）
2，磁控濺射靶靶材尺寸：912mm×120mm（長×寬）；
（六），加熱系統(tǒng)
1，6只加熱器，沿室壁圓周分布，每只功率3KW，加熱總功率18KW；
2，金屬鎧裝熱電偶一只，安裝于室體頂部；
3，烘烤溫度300℃，能實(shí)現(xiàn)溫度自動控制；
4，加熱器引入采用金屬密封。
?。ㄆ撸鋮s系統(tǒng)
1、真空室冷卻
2、八個靶體冷卻
3、分子泵，羅茨泵冷卻
4、冷卻水測溫，并報(bào)警
（八），供氣系統(tǒng)
1、4路進(jìn)氣（Ar，N2，O2，C2H2），1個混氣罐；
2、4只AE質(zhì)量流量計(jì)，4只電磁截止閥，4只手動針閥；
3、氣路管道采用外徑1／4″不銹鋼管，配均勻布?xì)夤堋?
?。ň牛?，預(yù)濺射擋板
1，擋板邊緣折邊，增加強(qiáng)度，避免烘烤熱變形；
2，驅(qū)動引入密封采用磁流體密封。
（十），濺射及偏壓供電系統(tǒng)：
1、3套30K濺射電源：
2、一套PLS-30K型脈沖偏壓電源
?。ㄊ唬刂茊卧?
1、控制系統(tǒng)：采用機(jī)（工控機(jī)）＋下位機(jī)（PLC）的控制形式，工控機(jī)向PLC發(fā)送命令，PLC去控制真空系統(tǒng)，加熱系統(tǒng)，轉(zhuǎn)動系統(tǒng)。
2、真空控制有手動和自動，自動包括四個過程：真空，連續(xù)，取件，停機(jī)。
3、靶控制也有手動和自動，自動主要以時(shí)間和功率來控制能保存和調(diào)用工藝參數(shù)。
4、報(bào)警系統(tǒng)有泵，靶斷水報(bào)警，系統(tǒng)氣壓低報(bào)警等，全系統(tǒng)具有爆，互保護(hù)，泵閥互鎖
?。ㄊ┰O(shè)備動力要求
水源：工業(yè)軟水，水壓0.2～0.3Mpa，水量～50L／min，進(jìn)水溫度≤25℃；
氣源：氣壓0.6MPa；
電源：三相五線制380V，50Hz，波動范圍±5％：功率≥60KW，150KW
?。ㄊ┱嫉孛娣e：3200長X4200寬X2100高
