TSV1300型精密光學(xué)真空鍍膜機(jī)
　　
　　我公司生產(chǎn)的自動光學(xué)真空鍍膜機(jī)具有石英晶體膜厚自動控制及光學(xué)膜厚自動控制兩種方式，通過PLC和工控機(jī)聯(lián)合實(shí)現(xiàn)對整個(gè)鍍膜過程的自動控制，包括真空系統(tǒng)，烘烤系統(tǒng)，蒸發(fā)過程和膜層厚度的監(jiān)控功能，可實(shí)現(xiàn)無人值守的自動控制，從而了工作效率和產(chǎn)品質(zhì)量的一致性和穩(wěn)定性。
　　
　　應(yīng)用范圍：
　　該設(shè)備采用e型電子蒸發(fā)源，可蒸發(fā)各種高熔點(diǎn)金屬和氧化物，可在玻璃，塑料，陶瓷基體上鍍制各種多層薄膜，如：紅外膜，寬帶增透膜，分光膜，冷光膜，IR-CUT膜，干涉截止濾光片，偏振膜，電學(xué)膜，適用于眼鏡，光學(xué)鏡頭，精密光學(xué)元件，激光和電子行業(yè)的大規(guī)模工業(yè)生產(chǎn)。
　　
　　主要特點(diǎn)：
　　1電子輸出功率穩(wěn)定，結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)二次電子的產(chǎn)生和電子打火。
　　2轉(zhuǎn)動采用磁流體引入，長期運(yùn)轉(zhuǎn)密封。
　　3工件轉(zhuǎn)動座多重水冷和重力導(dǎo)向設(shè)計(jì)，運(yùn)轉(zhuǎn)平穩(wěn)，徑向和軸向跳動3-5mm.
　　4采用PLC＋觸摸屏控制，多重泵閥水電互鎖互保護(hù)，可自動控制，包括真空系統(tǒng)，烘烤系統(tǒng)，整個(gè)蒸發(fā)鍍膜過程。
　　5安裝采用四質(zhì)譜監(jiān)控和氦質(zhì)譜檢漏，真空密封性好，設(shè)備工藝穩(wěn)定。
　　6部件采用國內(nèi)，電器元件采用或合資企業(yè)產(chǎn)品，設(shè)備24小時(shí)連續(xù)長期運(yùn)行穩(wěn)定。
　　基本參數(shù)：
　　1.立式前開門結(jié)構(gòu)，不銹鋼真空室Φ1300X1500mm
　　2.限真空：1×10-4Pa（空載清潔真空系統(tǒng)，300°烘烤后）
　　3.恢復(fù)真空時(shí)間：大氣至4×10-a≤15min.
　　4.大抽速主泵，KT-630型擴(kuò)散泵（18000L/s）兩臺，配備湍流裝置。
　　5.工件轉(zhuǎn)動：采用磁流體密封轉(zhuǎn)動裝置，轉(zhuǎn)動座多重水冷和重力導(dǎo)向設(shè)計(jì)，運(yùn)轉(zhuǎn)平穩(wěn)。
　　6.工件烘烤：桶狀上烘烤，三點(diǎn)控溫，烘烤溫度350°。
　　7.永磁E型電子，功率10KW/支；可配置單或雙，多穴坩堝和環(huán)形坩堝。
　　8.配備美國Inficon公司生產(chǎn)的SQC310C　或IC6型石英晶體膜厚控制儀。
　　9.10英寸觸摸屏和歐姆龍（PLC）編程控制器，對設(shè)備真空系統(tǒng)、蒸發(fā)源系統(tǒng)、烘烤系統(tǒng)、工件轉(zhuǎn)動系統(tǒng)、膜厚監(jiān)控系統(tǒng)等進(jìn)行監(jiān)測和控制，可采用自動和手動兩種模式。
　　10.可選配Φ16CM的離子源或深冷低溫冷阱?！?