PEV-1壓電閥（PEV-1 PIEZOELERIC GAS LEAK VALVE）是為了適用真空系統(tǒng)的高氣體流量控制閥門，主要應(yīng)用領(lǐng)域包括：磁控濺射鍍膜，光學(xué)鍍膜，ITO鍍膜，等離子體刻蝕等?？膳c國產(chǎn)自動(dòng)壓強(qiáng)控制儀配套使用，來實(shí)現(xiàn)閉環(huán)控制，穩(wěn)定壓強(qiáng)的目的，。
技術(shù)參數(shù)：
閥門類型：壓電晶體
可控制的氣體：兼容各種材料
流量范圍：0？500 SCCM
漏率：<1x10？9 scc/sec（1ATM HE ON INLET）
響應(yīng)時(shí)間：2微秒
進(jìn)氣壓力：50 PSI
驅(qū)動(dòng)要求：電壓：0？100 VDC，電流：<10μA
操作溫度范圍：＋10°C to＋60°C
材料：316不繡剛，氟橡膠，特富龍，陶瓷片
進(jìn)氣和出氣連接：1/4"Swagelok Fittings
電氣連接：標(biāo)準(zhǔn)BNC
重量：800克
技術(shù)參數(shù)：
閥門類型：壓電晶體
可控制的氣體：兼容各種材料
流量范圍：0？500 SCCM
漏率：<1x10？9 scc/sec（1ATM HE ON INLET）
響應(yīng)時(shí)間：2微秒
進(jìn)氣壓力：50 PSI
驅(qū)動(dòng)要求：電壓：0？100 VDC，電流：<10μA
操作溫度范圍：＋10°C to＋60°C
材料：316不繡剛，氟橡膠，特富龍，陶瓷片
進(jìn)氣和出氣連接：1/4"Swagelok Fittings
電氣連接：標(biāo)準(zhǔn)BNC
重量：800克
