多角度激光橢偏儀（pH-LE型）專門針對晶硅太陽能電池絨面上的減反膜測量，能夠測量薄膜厚度及其光學(xué)常數(shù)，使用632.8nm波長氦氖激光器，具有高的度和準(zhǔn)確度。
　　
　　多角度激光橢偏儀-產(chǎn)品特點(diǎn)
　　
　　■可以測量單晶電池片、多晶電池片
　　■可以測量拋光片，度和準(zhǔn)確度高
　　■可以測量粗糙表面的“絨片”
　　■適用于對太陽能電池粗糙表面減反膜造成的低反射光強(qiáng)進(jìn)行測量
　　■可對太陽能電池粗糙表面減反膜造成的退偏因數(shù)（偏振因數(shù)）進(jìn)行測量和評估，測量
　　■配置有高穩(wěn)定度補(bǔ)償器，提供小的漂移值和小的測量誤差
　　■配置有高的自動光學(xué)對準(zhǔn)顯微鏡
　　■可進(jìn)行20°−90°范圍內(nèi)的多角度測量
　　
　　多角度激光橢偏儀-測量特點(diǎn)
　　
　　■非破環(huán)性檢測
　　■樣品準(zhǔn)直簡單方便
　　■測量速度快
　　■可變?nèi)肷浣欠秶鷮?
　　■測量
　　■軟件分析

　　多角度激光橢偏儀-技術(shù)指標(biāo)
　　
　　■光源：He-Ne激光器
　　■光斑直徑：1-2mm
　　■入射角范圍：20°到90°，5°/步
　　■：0.002°~0.02°
　　■膜厚：0.01mm，對100nmSiO2on Si
　　■折射率：0.0005，對100nmSiO2on Si
　　■激光光斑：直徑1mm
　　■激光波長632.8 nm