HSD-P3碎塊狀
母合金P型-3次方 0.0010-0.0090Ω。cm以下,碎塊狀,碳含量(atom/cm3)<5e16,氧含量(atom/cm3)<1e18,具體每段將詳細標出,每段電阻率偏差在0.001或0.0005范圍內
HSD-P3整棒狀
母合金 P型-3次方 0.0010-0.0090Ω。cm以下,整棒狀,碳含量(atom/cm3)<5e16,氧含量(atom/cm3)<1e18,具體每段將詳細標出,每段電阻率偏差在0.001或0.0005范圍內
HSD-P3片狀
母合金 P型-3次方 0.0010-0.0090Ω。cm以下,片狀,碳含量(atom/cm3)<5e16,氧含量(atom/cm3)<1e18,具體每段將詳細標出,每段電阻率偏差在0.001或0.0005范圍內。
母合金摻雜的計算方法
■電阻率P的單晶,它的頭部對應的的雜質濃度為C頭,多晶硅原料的重量為W,母合金的雜質濃度為C母,應摻母合金重量為M
■應摻母合金重量為M=W*C頭/(K*C母—C頭),其中K為摻雜劑原素在硅中的平衡分凝系數
摻雜的幾個重要參數
■單晶的型號(N還是P)
■拉制硅單晶的目標電阻率;以P型為例,一般要求范圍為0.5~3,選擇1.6~2.5的目標阻值基本不會跑阻,可根據實際情況和需要調整
■原料的電阻率(要求)
■母合金的雜質濃度
■所摻雜質的分凝系數
我們的產品-拉單晶摻雜劑母合金
■本公司生產提供各種各種的母合金,包括以下品種
■硅單晶P型10的-3次方母合金
■硅單晶P型10的-2次方母合金
■硅單晶N型10的-3次方母合金
■硅單晶N型10的-2次方母合金。