EMS 7620是一款緊湊、實(shí)惠型SEM離子濺射鍍膜儀，鍍碳附件EMS7620-CF作為可選件為鍍碳時(shí)所需。該款設(shè)備具備輝光放電功能，這對(duì)于TEM的碳膜或其它材料樣本表面修飾有幫助。
　　
　　特征：
　　價(jià)格實(shí)惠
　　操作簡(jiǎn)單
　　磁控管濺射頭
　　結(jié)構(gòu)堅(jiān)實(shí)
　　碳絲蒸發(fā)可選
　　樣本臺(tái)高度可調(diào)
　　靶材更換簡(jiǎn)便，金/鈀為標(biāo)配靶材
　　合新的規(guī)程要求，具備主動(dòng)電氣連鎖功能，操作
　　三年質(zhì)保
　　規(guī)格參數(shù)：
　　整機(jī)尺寸 340mm W x 130mm D x 250mm H（unpacked）不包括腔室
　　
　　現(xiàn)場(chǎng)條件：
　　電氣要求 240VAC-13A，頻率50Hz，額定功率250VA，真空泵的額定輸出是230V、10A
　　濺射氣體氬氣（級(jí)），配有二級(jí)壓力調(diào)節(jié)器，工作氣體壓力在5-10psi
　　真空泵真空壓力不低于10-2mbar，流量50L/m 或 90L/m 的二級(jí)旋轉(zhuǎn)真空泵
　　碳蒸發(fā)附件（可選）EMS 7620-CF 碳蒸發(fā)附件與EMS7620可以配套使用
　　
　　貨號(hào)產(chǎn)品規(guī)格
　　EMS 7620 EMS 7620迷你型離子濺射鍍膜儀EMS 7620"Mini"Sputter Coater
　　包含：91017-AP gold/palladium（Au/Pd）target，1m length of 12mm bore flexible vacuum hose，1 x KF25 hose adapter flange and fittings to fit a rotary pump，1 x rotary pump plug，comprehensive operating instructions each
　　91017-Au 金靶Gold（Au）target each
　　91017-AP 金鈀Gold/palladium（Au/Pd）target each
　　91017-PT 鉑靶Platinum（PT）target each
　　91017-AG 銀靶Silver（AG）target each
　　91017-Pd 鈀靶Palladium（Pd）target each
　　91017-。2-Au 金靶Gold target（Au）0.2mm thick each
　　91017-。2-AP 金鈀Gold/palladium（Au/Pd）target 0.2mm thick each
　　91017-。2-PT 鉑靶Platinum（PT）target 0.2mm thick each
　　91003愛德華旋轉(zhuǎn)真空泵RV-3 two-stage rotary pump with oil mist filter（115/230V 50/60Hz）each
　　96000 Replacement oil mist filter each
　　91040碳蒸發(fā)附件（鍍碳時(shí)選用）Carbon evaporation attachment—EMS 7620 each