EMS300R T大樣品離子濺射鍍膜儀Large Chamber Sputter Coaters
　　適合SEM（掃描電鏡）、FE-SEM（場發(fā)射掃描電鏡）、TEM（電鏡）。
　　EMS300R T 與EMS150R T相似，明顯區(qū)別是EMS300R T腔室大，203mm，采用旋轉(zhuǎn)真空泵抽真空；此外，它配備三個(gè)的濺射頭，靶材粒子在大樣本上的沉積效果。適合濺射不易氧化的貴金屬如金、金/鈀、鉑等。（注意：既能濺射不易氧化金屬，又能濺射易氧化金屬，另見EMS300T T）。
　　
　　特征參數(shù)
　　1、可以進(jìn)行樣本（直徑至203mm）的金屬鍍膜
　　2、三個(gè)濺射頭濺射沉積質(zhì)量
　　3、單靶材選擇功能，可以進(jìn)行小樣本鍍膜
　　4、多種金屬靶材比如金、金/鈀、鉑等可選
　　5、選擇裝配膜厚監(jiān)測儀可以控制膜厚
　　6、全自動(dòng)觸摸屏控制，快速數(shù)字輸入，操作簡便
　　7、可以儲存不同用戶的程序
　　8、能夠記錄100個(gè)新鍍膜細(xì)節(jié)
　　9、真空自動(dòng)控制，且具有真空保持功能
　　10、落入式樣品臺拆裝方便（標(biāo)配是旋轉(zhuǎn)樣品臺）
　　11、長60分鐘不間斷鍍膜能力
　　12、合人體工程學(xué)的整體注塑機(jī)身
　　13、電氣合CE要求
　　14、三年質(zhì)保
　　樣品臺
　　EMS300R T有多種型號的樣品臺可以選擇，用于滿足目前大部分需求。落入式設(shè)計(jì)使得不同型號的樣品臺之間更換簡便，樣品臺除了行星臺外其高度均可調(diào)，旋轉(zhuǎn)速度在預(yù)設(shè)范圍內(nèi)實(shí)現(xiàn)可調(diào)。