EMS 550具有旋轉(zhuǎn)樣品臺(tái)，可傾斜，種樣品。參數(shù)可預(yù)設(shè)，全自動(dòng)控制獲得的鍍層厚度。低電壓濺射、冷濺射、精細(xì)顆粒等功能的使用，大大了工作效率。腔室直徑為165 mm（6英寸），方便裝載及移走樣品。儀器裝有60mm直徑、0.1mm厚的金靶（可選）?？蛇x靶材包括金/鈀，鉑/鈀和鉑。各種功能都集中設(shè)計(jì)在儀表板上，使用方便，滿足不同學(xué)科的用戶使用要求。濺射參數(shù)可預(yù)設(shè)，包括氣體放氣針閥（此閥為電磁閥），一旦設(shè)置，就不需要再調(diào)節(jié)。濺射頭互鎖，系統(tǒng)可選配EMS250鍍碳附件。
　　EMS 550本儀器為全自動(dòng)操作，可控制的真空泵。EMS500是EMS550的手動(dòng)版本，其樣品臺(tái)不帶自動(dòng)旋轉(zhuǎn)功能，其它參數(shù)與EMS550相同。下圖為EMS550的外觀圖片：
　　
　　性能特征：
　　旋轉(zhuǎn)且可傾斜樣品臺(tái)
　　高質(zhì)量鍍層厚度（2nm 金膜）
　　的可重復(fù)性能
　　均勻沉積厚度
　　復(fù)合樣本固定器
　　全自動(dòng)控制
　　冷卻系統(tǒng)，無需冷卻樣本及樣品臺(tái)
　　低壓濺射
　　20nm（或20埃）
　　微電子控制
　　聚碳酸酯殼體
　　儀器參數(shù)：
　　
　　儀器尺寸 450mm（W）x 350mm（D）x 175mm（H）
　　工作腔室硼硅酸鹽玻璃：165mm（Dia.）x 125mm（H）
　　罩聚碳酸酯
　　重量 18Kg
　　靶材 60 mm 直徑 x 0.1mm 厚（金靶為標(biāo)準(zhǔn)靶材）
　　樣品臺(tái) 60mm（Dia.），靶面距在25mm－45mm之間可調(diào)
　　真空泵工作范圍 ATM-1x10-2 mbar
　　濺射電流 0-50mA
　　濺射鍍膜時(shí)間 0-4 minutes
　　沉積速率 0-25nm/分
　　電源配置 230 volts 50Hz（6 AMP Max incl pump）