MYCRO MSC-650系列臺式勻膠機為美國原裝全自動數(shù)字式勻膠機。
我們的設備是可以連接電腦,通過SPIN3000軟件來進行實驗分析,該軟件具有方便的數(shù)據(jù)存儲,導入導出功能。而且它另外還有兩個模式,數(shù)據(jù)模擬和實施數(shù)據(jù)記錄模式
數(shù)據(jù)模擬:當我們進行涂膠實驗時,我們會將一組我們設定的涂膠速度和涂膠時長的數(shù)值輸入進系統(tǒng),系統(tǒng)會據(jù)此計算出的速度設定方案,帶有速度間變化的曲線。
數(shù)據(jù)記錄:我們都知道涂膠工藝除了與設備的性能(轉(zhuǎn)速,加速度)等有關以外,還與外部的實驗操作環(huán)境(比如當時的實驗環(huán)境、溫度等),為了實驗的可重復性,我們設備會在數(shù)據(jù)記錄模式下,實時記錄下前工藝過程的實驗實際值,并將該組數(shù)據(jù)存儲并重復調(diào)用,近乎一致的可重復性。
該MYCRO MSC-650系列臺式勻膠機適用于半導體、硅片、晶片、基片、導電玻璃及制版等表面涂覆工藝。臺式勻膠機(Spin Coater),有許多別名:臺式勻膠機,旋轉(zhuǎn)涂敷儀,旋轉(zhuǎn)涂覆儀,有甩膠機、涂膠機、勻膠臺、涂層機、涂膠機、涂膜機、旋轉(zhuǎn)涂布機、旋轉(zhuǎn)涂膜儀等。臺式勻膠機的工作原理是旋轉(zhuǎn)基片,利用離心力使滴在基片上的膠液均勻的涂在基片上,臺式勻膠機常用于各種溶膠凝膠(Sol-Gel)實驗中的薄膜制作,厚度視不同膠液和基片間的粘滯系數(shù)而不同,也和旋轉(zhuǎn)速度及時間有關。
MSC-650系列臺式勻膠機還可在工礦企業(yè)、科研、教育等單位作生產(chǎn)、科研、教學之用。
MYCRO MSC-650型臺式勻膠機,為高數(shù)碼控制器的勻膠旋涂儀,方便設定速度和加速度程序段,臺式勻膠機內(nèi)共設有20個51步程序段或者手動模式,100~8000RPM的穩(wěn)定轉(zhuǎn)速,也可訂制1~12000RPM的轉(zhuǎn)速,可重復性+/-0.5RPM,分辨率小于0.5RPM.
MYCRO MSC-650系列臺式勻膠機的數(shù)碼速度控制器采用的是一個高計數(shù)位的光學編碼器輸入至伺服馬達控制器,其設置點小于0.006%,獲美國NIST激光測量標準,無需校準。