圓筒型等離子清洗機(jī)/蝕刻機(jī)相比其他等離子清洗機(jī)的特點(diǎn)：
　　•的設(shè)計(jì)——使用微波爐產(chǎn)生等離子清洗介質(zhì)
　　•可去除許多種類的部件和基片上的及多種無機(jī)污染物
　　•保持低溫的制程（25＆not；-200°C之間可控）
　　•在等離子體的功能和密度方面，可產(chǎn)生比同等價(jià)位設(shè)備更高的等離子體功率和密度——可以700瓦
　　•不產(chǎn)生廢物，消除了廢物處理的麻煩——這點(diǎn)跟溶劑清洗不同
　　•易于調(diào)節(jié)功率等級(jí)，可以連續(xù)或者非連續(xù)調(diào)節(jié)
　　•易于使用和維護(hù)
　　圓筒型等離子清洗/蝕刻機(jī)的四種推薦應(yīng)用：
　　種：不帶離子收集器的氬氣等離子清洗
　　•基片的環(huán)氧粘合劑
　　•打線墊
　　•Pd-AG裸芯片墊
　　•鍍金部件
　　•預(yù)焊料
　　•環(huán)氧樹脂去除
　　•焊接預(yù)處理
　　•光刻膠去除
　　•氧化金屬表面
　　•金線或鋁線
　　•去除某些金屬氧化物
　　第二種：不帶離子收集器的氧氣等離子清洗
　　•光刻膠去除
　　•陶瓷基片清洗
　　•故障模型分析中去除塑料密封劑
　　•玻璃部件
　　•鍍金部件
　　•技術(shù)氧化物部件
　　•砷化鎵
　　•硅
　　•碳氟化合物和其它塑料粘合預(yù)處理
　　•磷化銦
　　第三種：帶離子收集器的氬氣等離子清洗
　　•帶敏感芯片的器件
　　•激光二管的切面
　　•帶助焊劑的陶瓷制品
　　•帶助焊劑的PC板
　　第四種：帶離子收集器的氧氣等離子清洗
　　•提供下游等離子蝕刻器的功能
　　•帶光刻機(jī)的敏感部件
　　*這些都是建議的應(yīng)用。具體使用請(qǐng)與你的工藝工程師確認(rèn)材料的兼容性。
　　**系統(tǒng)包含了相應(yīng)的調(diào)節(jié)閥。泵需要訂購(gòu)。
　　***離子收集器形成一個(gè)法拉第籠以抵消帶電離子并不利微波的情形出現(xiàn)。