MYCRO MSC-650系列勻膠機(jī)為美國原裝全自動數(shù)字式勻膠機(jī)。
該MYCRO MSC-650系列勻膠機(jī)適用于半導(dǎo)體、硅片、晶片、基片、導(dǎo)電玻璃及制版等表面涂覆工藝。勻膠機(jī)(Spin Coater),有許多別名:勻膠機(jī),旋轉(zhuǎn)涂敷儀,旋轉(zhuǎn)涂覆儀,有甩膠機(jī)、涂膠機(jī)、勻膠臺、涂層機(jī)、涂膠機(jī)、涂膜機(jī)、旋轉(zhuǎn)涂布機(jī)、旋轉(zhuǎn)涂膜儀等。勻膠機(jī)的工作原理是旋轉(zhuǎn)基片,利用離心力使滴在基片上的膠液均勻的涂在基片上,勻膠機(jī)常用于各種溶膠凝膠(Sol-Gel)實驗中的薄膜制作,厚度視不同膠液和基片間的粘滯系數(shù)而不同,也和旋轉(zhuǎn)速度及時間有關(guān)。
MSC-650系列勻膠機(jī)還可在工礦企業(yè)、科研、教育等單位作生產(chǎn)、科研、教學(xué)之用。
MYCRO MSC-650型勻膠機(jī),為高數(shù)碼控制器的勻膠旋涂儀,方便設(shè)定速度和加速度程序段,勻膠機(jī)內(nèi)共設(shè)有20個51步程序段或者手動模式,100~8000RPM的穩(wěn)定轉(zhuǎn)速,也可訂制1~12000RPM的轉(zhuǎn)速,可重復(fù)性+/-0.5RPM,分辨率小于0.5RPM.
MYCRO MSC-650系列勻膠機(jī)的數(shù)碼速度控制器采用的是一個高計數(shù)位的光學(xué)編碼器輸入至伺服馬達(dá)控制器,其設(shè)置點小于0.006%,獲美國NIST激光測量標(biāo)準(zhǔn),無需校準(zhǔn)。