型號(hào)650Mz-23NPP（美國NIST工業(yè)標(biāo)準(zhǔn)）
1、產(chǎn)品概述：650S型甩膠機(jī)適應(yīng)于半導(dǎo)體、化工材料、硅片、晶片、基片、導(dǎo)電玻璃等工藝，制版的表面涂覆。MYCRO的MSC系列甩膠機(jī)具有穩(wěn)定的轉(zhuǎn)速和快速的啟動(dòng)，可以半導(dǎo)體中膠厚度的一致性和均勻性，這正是650S 型甩膠機(jī)的特點(diǎn)。
2、甩膠機(jī)工作原理：甩膠機(jī)（spin coater）的工作原理是旋轉(zhuǎn)基片，利用離心力使滴在基片上的膠液均勻的涂在基片上，甩膠機(jī)常用于各種溶膠凝膠（Sol-Gel）實(shí)驗(yàn)中的薄膜制作，厚度視不同膠液和基片間的粘滯系數(shù)而不同，也和旋轉(zhuǎn)速度及時(shí)間有關(guān)。
勻膠機(jī)性能指標(biāo)及特點(diǎn)：
1、該甩膠機(jī)采用美國技術(shù)：
2、MSC系列甩膠機(jī)采用NPP天然聚丙烯材質(zhì)構(gòu)造設(shè)計(jì)，這種材質(zhì)有很好的腐蝕性和化學(xué)物性，美觀大方；
3、甩膠機(jī)真空Chuck經(jīng)精密加工制成，具有良好的光潔度及平整度，晶圓片被很好地吸附，主軸采用微型單列向心球軸承支撐，軸向有彈性墊及調(diào)整墊，可保障主軸具有較高的。
4、智能型調(diào)節(jié)勻膠工作時(shí)間，1秒至99分59.9秒任意范圍，小時(shí)間增加0.1秒；
5、650S 型甩膠機(jī)大致有兩個(gè)轉(zhuǎn)速范圍，主軸轉(zhuǎn)速范圍寬，加速度高。階段，通過500~1000RPM的轉(zhuǎn)速，旋轉(zhuǎn)5~10秒鐘，使膠液得以平鋪開，而膠液厚度主要通過第二階段的速度變化來控制，一般轉(zhuǎn)速在1500RPM~6000RPM，旋轉(zhuǎn)時(shí)長從幾秒鐘到幾分鐘，如此既可以得到幾百個(gè)納米到數(shù)十個(gè)微米之間的均勻薄膜，也是可以無變速的。根據(jù)旋涂的需要設(shè)定不同的轉(zhuǎn)速，對(duì)不同的材料進(jìn)行均勻的涂膜。
6、高數(shù)碼控制器，美國MYCRO甩膠機(jī)的數(shù)碼速度控制器采用的是一個(gè)高計(jì)數(shù)位的光學(xué)編碼器輸入至伺服馬達(dá)控制器，其設(shè)置點(diǎn)小于0.006%。通過PLC控制系統(tǒng)，運(yùn)行干擾小，性高。人機(jī)交互按鍵顯示操作，界面友好，更直觀便捷，用戶可靈活編制、儲(chǔ)存、調(diào)用和修改工藝參數(shù)。甩膠機(jī)可以設(shè)定多達(dá)20個(gè)程序段來存儲(chǔ)不同材料的制備過程，每個(gè)程序段設(shè)定51步速度改變，當(dāng)前參數(shù)具斷電保護(hù)功能。MSC-650S系列，除了對(duì)于轉(zhuǎn)速的精密控制以外（轉(zhuǎn)速范圍1~12000轉(zhuǎn)/分，分辨率小于0.5轉(zhuǎn)/分，可重復(fù)性小于&plun;0.5轉(zhuǎn)/分，加速度可達(dá)80000RPM/S，則可達(dá)1RPM/S）。MSC-650S型可以通過U通訊接口連接電腦，以及隨機(jī)附帶的SPIN3000分析軟件進(jìn)行功能多樣的可視化操作。對(duì)于每次實(shí)驗(yàn)結(jié)果進(jìn)行分析調(diào)試，并挑選出的制備過程，數(shù)據(jù)結(jié)果都可以通過電腦輸出并予以保存，完成從單純旋轉(zhuǎn)機(jī)器到旋涂儀器的升級(jí)。
7、高甩膠機(jī)加速度和速度的穩(wěn)定性：標(biāo)準(zhǔn)速度范圍100-12，000轉(zhuǎn)/分鐘（RPM）［分辨率：<0.5轉(zhuǎn)/分鐘（RPM）可重復(fù)性：&plun;0.5轉(zhuǎn)/分鐘，經(jīng)美國國家標(biāo)準(zhǔn)技術(shù)研究院（NIST）過的，并且無需再校準(zhǔn)?。?
8、在安裝結(jié)構(gòu)上，采取了減振措施，了在運(yùn)轉(zhuǎn)時(shí)噪音很低，涂覆表面均勻，通過調(diào)節(jié)轉(zhuǎn)速調(diào)節(jié)涂覆厚度。
9、甩膠機(jī)腔體配備吹氮（N2）功能，或壓縮空氣、氮?dú)鈮毫赏ㄟ^調(diào)壓閥和節(jié)流閥實(shí)現(xiàn)調(diào)節(jié)，與配套真空泵一同使用。需要更詳細(xì)的關(guān)于MYCRO的MSC系列甩膠機(jī)方面的產(chǎn)品咨詢。
1、產(chǎn)品概述：650S型甩膠機(jī)適應(yīng)于半導(dǎo)體、化工材料、硅片、晶片、基片、導(dǎo)電玻璃等工藝，制版的表面涂覆。MYCRO的MSC系列甩膠機(jī)具有穩(wěn)定的轉(zhuǎn)速和快速的啟動(dòng)，可以半導(dǎo)體中膠厚度的一致性和均勻性，這正是650S 型甩膠機(jī)的特點(diǎn)。
2、甩膠機(jī)工作原理：甩膠機(jī)（spin coater）的工作原理是旋轉(zhuǎn)基片，利用離心力使滴在基片上的膠液均勻的涂在基片上，甩膠機(jī)常用于各種溶膠凝膠（Sol-Gel）實(shí)驗(yàn)中的薄膜制作，厚度視不同膠液和基片間的粘滯系數(shù)而不同，也和旋轉(zhuǎn)速度及時(shí)間有關(guān)。
勻膠機(jī)性能指標(biāo)及特點(diǎn)：
1、該甩膠機(jī)采用美國技術(shù)：
2、MSC系列甩膠機(jī)采用NPP天然聚丙烯材質(zhì)構(gòu)造設(shè)計(jì)，這種材質(zhì)有很好的腐蝕性和化學(xué)物性，美觀大方；
3、甩膠機(jī)真空Chuck經(jīng)精密加工制成，具有良好的光潔度及平整度，晶圓片被很好地吸附，主軸采用微型單列向心球軸承支撐，軸向有彈性墊及調(diào)整墊，可保障主軸具有較高的。
4、智能型調(diào)節(jié)勻膠工作時(shí)間，1秒至99分59.9秒任意范圍，小時(shí)間增加0.1秒；
5、650S 型甩膠機(jī)大致有兩個(gè)轉(zhuǎn)速范圍，主軸轉(zhuǎn)速范圍寬，加速度高。階段，通過500~1000RPM的轉(zhuǎn)速，旋轉(zhuǎn)5~10秒鐘，使膠液得以平鋪開，而膠液厚度主要通過第二階段的速度變化來控制，一般轉(zhuǎn)速在1500RPM~6000RPM，旋轉(zhuǎn)時(shí)長從幾秒鐘到幾分鐘，如此既可以得到幾百個(gè)納米到數(shù)十個(gè)微米之間的均勻薄膜，也是可以無變速的。根據(jù)旋涂的需要設(shè)定不同的轉(zhuǎn)速，對(duì)不同的材料進(jìn)行均勻的涂膜。
6、高數(shù)碼控制器，美國MYCRO甩膠機(jī)的數(shù)碼速度控制器采用的是一個(gè)高計(jì)數(shù)位的光學(xué)編碼器輸入至伺服馬達(dá)控制器，其設(shè)置點(diǎn)小于0.006%。通過PLC控制系統(tǒng)，運(yùn)行干擾小，性高。人機(jī)交互按鍵顯示操作，界面友好，更直觀便捷，用戶可靈活編制、儲(chǔ)存、調(diào)用和修改工藝參數(shù)。甩膠機(jī)可以設(shè)定多達(dá)20個(gè)程序段來存儲(chǔ)不同材料的制備過程，每個(gè)程序段設(shè)定51步速度改變，當(dāng)前參數(shù)具斷電保護(hù)功能。MSC-650S系列，除了對(duì)于轉(zhuǎn)速的精密控制以外（轉(zhuǎn)速范圍1~12000轉(zhuǎn)/分，分辨率小于0.5轉(zhuǎn)/分，可重復(fù)性小于&plun;0.5轉(zhuǎn)/分，加速度可達(dá)80000RPM/S，則可達(dá)1RPM/S）。MSC-650S型可以通過U通訊接口連接電腦，以及隨機(jī)附帶的SPIN3000分析軟件進(jìn)行功能多樣的可視化操作。對(duì)于每次實(shí)驗(yàn)結(jié)果進(jìn)行分析調(diào)試，并挑選出的制備過程，數(shù)據(jù)結(jié)果都可以通過電腦輸出并予以保存，完成從單純旋轉(zhuǎn)機(jī)器到旋涂儀器的升級(jí)。
7、高甩膠機(jī)加速度和速度的穩(wěn)定性：標(biāo)準(zhǔn)速度范圍100-12，000轉(zhuǎn)/分鐘（RPM）［分辨率：<0.5轉(zhuǎn)/分鐘（RPM）可重復(fù)性：&plun;0.5轉(zhuǎn)/分鐘，經(jīng)美國國家標(biāo)準(zhǔn)技術(shù)研究院（NIST）過的，并且無需再校準(zhǔn)?。?
8、在安裝結(jié)構(gòu)上，采取了減振措施，了在運(yùn)轉(zhuǎn)時(shí)噪音很低，涂覆表面均勻，通過調(diào)節(jié)轉(zhuǎn)速調(diào)節(jié)涂覆厚度。
9、甩膠機(jī)腔體配備吹氮（N2）功能，或壓縮空氣、氮?dú)鈮毫赏ㄟ^調(diào)壓閥和節(jié)流閥實(shí)現(xiàn)調(diào)節(jié)，與配套真空泵一同使用。需要更詳細(xì)的關(guān)于MYCRO的MSC系列甩膠機(jī)方面的產(chǎn)品咨詢。
