平面刻蝕是在兩塊平面電之間進(jìn)行刻蝕，它與常見的感應(yīng)耦合等離子體（ICP）不同，是通過高壓線圈產(chǎn)生的。我們的SCE系列鋁制反應(yīng)艙等離子體系統(tǒng)是該領(lǐng)域新的產(chǎn)品。
　　無論是做研發(fā)階段還是量產(chǎn)階段，款SCE系統(tǒng)可以滿足用戶的需要。無論從設(shè)備設(shè)計質(zhì)量還是經(jīng)濟(jì)實用的角度考量，我們的等離子平面刻蝕機(jī)都具優(yōu)勢。
　　SCEA1414鋁制艙等離子平面刻蝕機(jī)
　　1，可配三路氣體通路；
　　2，約45升艙體容積（14x14x14英寸）的反應(yīng)艙；
　　3，可配四種不同等離子模式的四托架結(jié)構(gòu)；
　　4，射頻功率為0-300瓦，13.56兆赫茲；
　　5，可選配　600瓦和1000瓦　13.56兆赫茲的功率源；
　　6，可選配低頻；
　　SCEA1818鋁制艙等離子平面刻蝕機(jī)
　　1，可提供四路氣體通道；
　　2，約96升艙體容積（18x18x18英寸）的反應(yīng)艙體；
　　3，配有6托架結(jié)構(gòu)，可支持初級或者下游等離子
　　4，可選配機(jī)械手樣品上裝置；
　　5，可選配生產(chǎn)線設(shè)置；
　　6，射頻功率為0-600瓦，13.56兆赫茲；
　　7，可選配1000瓦　13.56兆赫茲的功率源；
　　8，可選配低頻；
　　SCEQ0408石英艙等離子平面刻蝕機(jī)
　　1，可配三路氣體通路；
　　2，約1.6升艙體容積（4英寸直徑8英寸深度）的反應(yīng)艙體；
　　3，標(biāo)配射頻功率為0-150瓦手調(diào)，13.56兆赫茲；
　　4，可選配0-300瓦電調(diào)，13.56兆赫茲的功率源；
　　SCEQ0608石英艙等離子平面刻蝕機(jī)
　　1，可配三路氣體通路；
　　2，約3.7升艙體容積（6英寸直徑　8英寸深度）的反應(yīng)艙體；
　　3，標(biāo)配射頻功率為0-150瓦手調(diào)，13.56兆赫茲；
　　4，可選配0-300瓦電調(diào)，13.56兆赫茲的功率源；
　　SCEQ0808石英艙等離子平面刻蝕機(jī)
　　1，可配三路氣體通路；
　　2，約6.5升艙體容積（8英寸直徑8英寸深度）的反應(yīng)艙體；
　　3，標(biāo)配射頻功率為0-150瓦手調(diào)，13.56兆赫茲；
　　4，可選配0-300瓦電調(diào)，13.56兆赫茲的功率源；
　　石英艙系統(tǒng)可以配置，用于平面定向要非等向性和感應(yīng)耦合等離子體（ICP）定向兩種模式的等離子體產(chǎn)生。
　　需要更詳細(xì)的等離子平面刻蝕機(jī)的信息，
　　
　　等離子刻蝕機(jī)商品信息
　　
　　邁可諾技術(shù)有限公司是一家致力于光電半導(dǎo)體化工實驗室所需設(shè)備耗材的全套解決方案提供商，在中國大陸設(shè)有內(nèi)地營銷服務(wù)中心，經(jīng)銷歐美日韓品牌實驗室光電半導(dǎo)體化工儀器設(shè)備，附件，試劑耗材，對中國國內(nèi)廣大客戶提供的產(chǎn)品咨詢和技術(shù)銷售服務(wù)。
　　公司名稱：邁可諾技術(shù)有限公司主營產(chǎn)品：勻膠機(jī)等離子清洗機(jī)旋涂儀　SLD/SLED　單色儀光譜儀公司成立年份：2008
　　等離子刻蝕機(jī)產(chǎn)品概況
　　
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