*型號:FUNION 564
?。谐蹋篨軸500mm、Y軸600mm、Z軸400mm
*結(jié)構(gòu)型式:活動橋式
?。獋鲃臃绞剑褐绷魉欧到y(tǒng)+預(yù)載荷高空氣軸承
*長度測量系統(tǒng):RENISHAW開放式光柵尺,分辨率為0.5μm
?。獧C(jī)臺:高(00級)花崗巖平臺
*使用環(huán)境:溫度(20&plun;2)℃,濕度55%-65%,溫度梯度1℃/m,溫度變化1℃/h
*空氣壓力:0.4MPa-0.5Mpa
?。諝饬髁浚?20L/min–140L/min
?。麢C(jī)尺寸(LWH):1.2mX1.4mX2.3m
*機(jī)臺承重:500kg
?。麢C(jī)重量:850Kg
?。臻g測量:(2.80+L/300)μm