基礎技術參數(shù)：
型號：FUNION8106
行程：
X軸：800mm
Y軸：1000mm
Z軸：600mm
結構型式：活動橋式
傳動方式：直流伺服系統(tǒng)＋預載荷高空氣軸承
長度測量系統(tǒng)：RENISHAW開放式光柵尺，分辨率為0.5μm
機臺：高（00級）花崗巖平臺
使用環(huán)境：
溫度：（20±2）℃，
濕度：55％-65％，
溫度梯度：1℃／m，
溫度變化：1℃／h
空氣壓力：0.4MPa-0.5Mpa
空氣流量：120L／min–140L／min
整機尺寸（LWH）：1.2mX1.4mX2.3m
機臺承重：500kg，
整機重量：850Kg
空間測量：（2.80＋L／300）μm。
型號：FUNION8106
行程：
X軸：800mm
Y軸：1000mm
Z軸：600mm
結構型式：活動橋式
傳動方式：直流伺服系統(tǒng)＋預載荷高空氣軸承
長度測量系統(tǒng)：RENISHAW開放式光柵尺，分辨率為0.5μm
機臺：高（00級）花崗巖平臺
使用環(huán)境：
溫度：（20±2）℃，
濕度：55％-65％，
溫度梯度：1℃／m，
溫度變化：1℃／h
空氣壓力：0.4MPa-0.5Mpa
空氣流量：120L／min–140L／min
整機尺寸（LWH）：1.2mX1.4mX2.3m
機臺承重：500kg，
整機重量：850Kg
空間測量：（2.80＋L／300）μm。
