還有一種EO模塊(長程),程力與SF相同,但工作范圍更大,并在測頭Z軸提供保護(hù)。
其特點(diǎn)及優(yōu)點(diǎn)如下:應(yīng)變片技術(shù)具有的重復(fù)性和的3D輪廓測量。復(fù)位誤差。無各向同性影響。6向測量能力測針測量距離達(dá)100 mm(GF測針)快速測頭模塊交換,無需重新標(biāo)定測尖壽命>1000萬次觸發(fā) TP200 TP200B
主要應(yīng)用 需要高的DCC CMM. 和TP200相同,但是會(huì)發(fā)生「空氣」觸發(fā)的場合。
觸發(fā)方向 6軸:±X、±Y、±Z 6軸:±X、±Y、±Z
單向重復(fù)性(2sμm) 觸發(fā)水平1:0.40μm(0.000016英吋)
觸發(fā)水平2:0.50μm(0.00002英吋) 觸發(fā)水平1:0.40μm(0.000016英吋)
觸發(fā)水平2:0.50μm(0.00002英吋)
XY(2D)形式量測偏差 觸發(fā)水平1:±0.80μm(0.000032英吋)觸發(fā)水平2:±0.90μm(0.000036英吋) 觸發(fā)水平1:±1μm(0.00004英吋)觸發(fā)水平2:±1.2μm(0.000047英吋)
XYZ(3D)形式量測偏差 觸發(fā)水平1:±1μm(0.00004英吋)觸發(fā)水平2:±1.40μm(0.000056英吋) 觸發(fā)水平1:±2.50μm(0.0001英吋)觸發(fā)水平2:±4μm(0.00016英吋)
探針更換重復(fù)性 帶SCR200:±0.50μm(0.00002英吋)手動(dòng):±1μm(0.00004英吋) 帶SCR200:±0.50μm(0.00002英吋)手動(dòng):±1μm(0.00004英吋)
觸發(fā)力(探針端部處) XY平面(模組):0.02 NZ軸(模組):0.07 N XY平面(模組):0.02 NZ軸(模組):0.07 N
行程觸發(fā)力(0.50 mm位移時(shí)) XY平面(SF/EO模組):0.2 N到0.4 NXY平面(LF模組):0.1 N到0.15 NZ軸(SF/EO模組):4.90 NZ軸(LF模組):1.60 N XY平面(SF/EO模組):0.2 N到0.4 NXY平面(LF模組):0.1 N到0.15 NZ軸(SF/EO模組):4.90 NZ軸(LF模組):1.60 N
重量(測頭感測器和模組) 22 g(0.78盎司) 22 g(0.78盎司)
延長桿(如果在PH10系列測頭座上) 300mm(11.81英吋) 300mm(11.81英吋)
建議探針長度(M2探針系列) SF/EO模組:50 mm(1.97英吋)鋼到100 mm(3.94英吋)GF
LF模組:20 mm(0.79英吋)鋼到50 mm(1.97英吋)GF SF/EO模組:50 mm(1.97英吋)鋼到100 mm(3.94英吋)GF
LF模組:20 mm(0.79英吋)鋼到50 mm(1.97英吋)GF
安裝方式 M8螺紋 M8螺紋
適合的介面 PI200、UCC PI200、UCC
探針模組更換架 自動(dòng):SCR200手動(dòng):MSR1 自動(dòng):SCR200手動(dòng):MSR1
探針系列 M2 M2