產(chǎn)品品牌：

美國(guó)mks

產(chǎn)品型號(hào)：

1179A

1179A

流量比例控制器（通用型） 

1179A是一種通用型彈性密封的質(zhì)量流量控制器，可在多種應(yīng)用場(chǎng)合測(cè)量和控制氣體的流量，特別是可重復(fù)性要求高的場(chǎng)合。配上合適的壓力控制器，它還可以作為壓力控制器使用。對(duì)于當(dāng)今市場(chǎng)上的質(zhì)量流量控制器，1179A可作為直接替代的產(chǎn)品，標(biāo)準(zhǔn)的3英寸底座使1179能夠直接進(jìn)行安裝而無(wú)需改變現(xiàn)有的氣體管道。它具有數(shù)字和模擬兩種模式，其為全量程的1%。技術(shù)參數(shù)：全量程：10SCCM，20SCCM，50SCCM，100SCCM，200SCCM，500SCCM，1000SCCM，2000SCCM，5000SCCM，10000SCCM，20000SCCM?？刂屏砍蹋?% to 100%的全量程。測(cè)量：全量程的1%靈敏度：全量程的0.1%熱機(jī)時(shí)間：小于2Min.響應(yīng)速度：小于2Sec.輸入電壓：±15VDC@100ma輸出電壓：0-5VDC連接器：模擬：9Pin或15Pin或20Pin Card edge.       數(shù)字：RS485或Device net或Profibus法蘭接口：Swagelok 4VCR，Swagelok4 VCO，Swage 1/4”等材質(zhì)：316不銹鋼。質(zhì)保期：有限保修自售出之日起12個(gè)月。 例：型號(hào)1179A00411CR1A5VXX                                                    采購(gòu)序列號(hào)   校準(zhǔn)氣體（SEMI氣體編號(hào)）*Helium, He                                                         001Argon, Ar                                                           004Hydrogen, H2                                                       007Nitrogen, N2                                                        013Oxygen, O2                                                         015