- 產(chǎn)品品牌：
- MKS
- 產(chǎn)品型號(hào)：
- M100B
M100B
彈性密封質(zhì)量流量控制器（通用型）
M100B是一種通用的彈性密封的質(zhì)量流量控制器，可在生產(chǎn)，分析，工業(yè)以及測(cè)試等多種應(yīng)用場(chǎng)合測(cè)量和控制有腐蝕性氣體的流量，特別是可重復(fù)性要求高的場(chǎng)合。配上合適的壓力控制器，它還可以作為壓力控制器使用。對(duì)于當(dāng)今市場(chǎng)上的質(zhì)量流量控制器，M100B可作為直接替代的產(chǎn)品，標(biāo)準(zhǔn)的3英寸底座使M100B能夠直接進(jìn)行安裝而無需改變現(xiàn)有的氣體管道。它具有模擬通訊模式，其為全量程的1%。 技術(shù)參數(shù)：全量程：10SCCM，20SCCM，50SCCM，100SCCM，200SCCM，500SCCM，1000SCCM，2000SCCM， 5000SCCM，10000SCCM，20000SCCM，30000SCCM，50000SCCM（可選）控制量程：2% to 100%的全量程。測(cè)量：全量程的1%靈敏度：全量程的0.1%熱機(jī)時(shí)間：小于2Min.響應(yīng)速度：小于2Sec.輸入電壓：±15VDC@100ma輸出電壓：0-5VDC連接器：模擬：9Pin或15Pin或20Pin Card edge. 數(shù)字：RS485或Device net或Profibus法蘭接口：Swagelok 4VCR，Swagelok4 VCO，Swage 1/4”等材質(zhì)：316不銹鋼。質(zhì)保期：有限保修自售出之日起18個(gè)月。 例：型號(hào)M100B00411CR1BV 校準(zhǔn)氣體（SEMI氣體編號(hào)）* 采購(gòu)序列號(hào)Helium, He 001Argon, Ar 004Hydrogen, H2 007Nitrogen, N2 013Oxygen, O2 015 校準(zhǔn)流量SCCM（相當(dāng)?shù)獨(dú)?strong>50000） 10 11C 20 21C 50 51C 100 12C 200 22C 500 52C 1000 13C 2000 23C 5000 53C 10000 14C 20000 24C 30000 34C 50000** 54C 裝配件（Y）（與以下兼容）SwagelokR4VCRR凸接頭 R 0.25英寸SwagelokR S SwagelokR4VCOR G 0.125英寸Swagelok*** P 6 mm SwagelokR M 閥門（1）常閉（控制器） 1 連接器（W） 15針D型接口 B 型號(hào)M100B（續(xù)） 密封（Z）****Buna N B NeopreneR N VitonR V 用于M100B的電纜線CB147-1-10用來將M100B 15針D型接口連接至PR4000, 146, 186, 167, 647CB259-5-10用來將M100B 15針D型接口連接至246, 247
