儀器簡(jiǎn)介：
技術(shù)參數(shù)：
主要特點(diǎn)：
NT9100光學(xué)輪廓儀是一款使用便利、性能卓越，性價(jià)比高的非接觸無(wú)損傷三形貌維測(cè)量?jī)x器。Wyko新的第九代系統(tǒng)采用獨(dú)有的雙LED照明光源技術(shù)，能夠更好的檢測(cè)超光滑表面及非常粗糙的表面；它的測(cè)量范圍可達(dá)亞納米級(jí)粗糙度到毫米級(jí)的臺(tái)階高度。作為第九代白光干涉儀的桌面機(jī)臺(tái)，NT 9100同樣具有大機(jī)臺(tái)才有的優(yōu)點(diǎn)：簡(jiǎn)單易用的操作方式、快速數(shù)據(jù)獲取能力、強(qiáng)大的軟件功能及埃級(jí)的重現(xiàn)性等。同時(shí)，可選配的X-Y自動(dòng)平臺(tái)，使NT9100具有程序化處理樣品的功能
技術(shù)參數(shù)：
1、縱向掃描范圍：0.1nm~1mm (標(biāo)配）
2、掃描速度：24um/s
3、樣品臺(tái)尺寸：100mm
主要特點(diǎn)：
1.采用高壽命綠光及白光LEDs
2.垂直測(cè)量范圍達(dá)0.1nm至10mm
3.垂直掃描速度快可達(dá)24微米/秒
4.光學(xué)分辨率小可達(dá)0.49微米
5.可選配X-Y自動(dòng)樣品臺(tái)
