儀器簡介：
技術(shù)參數(shù)：
主要特點(diǎn)：
Wyko NT9800 光學(xué)輪廓儀在0.1nm 到 10mm 的垂直掃描范圍內(nèi)提供了非接觸式高速高三維表面測量工能，縱向分辨率可達(dá)0.1nm。NT9800 采用了Veeco的內(nèi)部實(shí)時(shí)激光參考信號(hào)進(jìn)行持續(xù)的自校準(zhǔn)，減小了通常情況下使用標(biāo)準(zhǔn)塊校準(zhǔn)設(shè)備的需要，并且能夠補(bǔ)償工作環(huán)境下系統(tǒng)產(chǎn)生的熱漂誤差。作為業(yè)內(nèi)的第九代Wyko NT系列光學(xué)輪廓儀產(chǎn)品，NT9800 具有的自動(dòng)化水平，友好的用戶界面，以及業(yè)內(nèi)的Wyko Vision分析軟件系統(tǒng)。眾多先進(jìn)技術(shù)的集成、經(jīng)過長期實(shí)用驗(yàn)證的測量技術(shù)以及適合于各種應(yīng)用需要的軟件功能，使 NT9800 成為世界上先進(jìn)的光學(xué)干涉測量設(shè)備，可滿足MEMS、金屬研究、材料科學(xué)、半導(dǎo)體、醫(yī)用器械等眾多領(lǐng)域科研和生產(chǎn)工作中對高自動(dòng)化表面測量的需要。
技術(shù)參數(shù)：
1、縱向掃描范圍：0.1nm~1mm (標(biāo)配）
2、垂直掃描速度：25um/s
3、樣品臺(tái)尺寸：200mm
主要特點(diǎn)：
1. 非接觸測量
2. 重復(fù)性高
3. 測量高
