Dektak150型是Veeco公司2007年正式推出的新型探針式表面輪廓儀(臺(tái)階儀)產(chǎn)品，主要應(yīng)用于薄膜厚度測(cè)量、樣品表面形貌測(cè)量、薄膜應(yīng)力測(cè)量、樣品表面粗糙度/波紋度測(cè)量、以及樣品表面三維形貌測(cè)量等眾多領(lǐng)域。
Dektak 150集四十余年的技術(shù)積累和創(chuàng)新于一身，為滿(mǎn)足用戶(hù)不同應(yīng)用方向的需要提供了多種可選配置。堅(jiān)固的鋁質(zhì)材料鑄成的機(jī)身框架以及支撐部件顯著提高了儀器的重復(fù)，并降低了地板噪音對(duì)測(cè)量的干擾?；赪indows XP的Dektak隨機(jī)配備軟件系統(tǒng)界面友好，為用戶(hù)提供了完善的分析功能。“一鍵式”操作方式使得測(cè)量工作簡(jiǎn)單易行。通過(guò)選配三維成像附件套裝還可以極大地?cái)U(kuò)充儀器的功能。
技術(shù)參數(shù)：
測(cè)量重復(fù)性 6Å
掃描長(zhǎng)度 50μm-55mm
單次掃描數(shù)據(jù)點(diǎn) 60,000個(gè)
允許樣品高度 100mm (根據(jù)配置不同會(huì)有所變化)
垂直范圍量程 524μm (1mm選配)
垂直分辨率 1 Å (6.55μm量程范圍下)
樣品臺(tái) 150mm，X-Y-θ手動(dòng)調(diào)節(jié)
探針壓力范圍 1-15mg (0.03mg選配)
攝像頭顯微鏡視野范圍2.6mm (0.67-4.29mm選配)
主要特點(diǎn)：
1. 臺(tái)階高度測(cè)量的高重復(fù)性
2. 基于精密加工光學(xué)參考平面的樣品臺(tái)，
確保在長(zhǎng)距離掃描中基線(xiàn)的穩(wěn)定性
3. 出色的易用性、易維護(hù)性
4. 的樣品適用性
5. 高分辨率的粗糙度測(cè)量
6. 功能強(qiáng)大的軟件分析系統(tǒng)
7. 三維表面形貌測(cè)量的功能可升級(jí)性
8. 廣泛的應(yīng)用領(lǐng)域
