VEECO探針輪廓儀(臺(tái)階儀）的詳細(xì)信息

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DektakXT ?Specifications規(guī)格 測(cè)量技術(shù)探針輪廓技術(shù)測(cè)量功能二維表面輪廓測(cè)量可選三維測(cè)量/ 樣品視景可選放大倍率, 1 to 4mm FOV 探針傳感器低慣量傳感器 (LIS 3) 探針壓力使用LIS 3傳感器：1 至 15mg 低作用力（選配）使用N-Lite+低作用力傳感器：0.03至 15mg 探針選項(xiàng)探針曲率半徑可選范圍： 50nm至25μm 高徑比 (HAR)針尖：10μm x 2μm和200μm x 20μm; 可按客戶要求定制針尖樣品X/Y載物臺(tái)手動(dòng) X-Y 平移：100mm (4 英寸) 機(jī)動(dòng)X-Y 平移：150mm (6 英寸) 樣品旋轉(zhuǎn)臺(tái)手動(dòng)，360°旋轉(zhuǎn); 機(jī)動(dòng)：360°旋轉(zhuǎn); 計(jì)算機(jī)系統(tǒng) 64-bit 多核并行處理器, Windows? 7.0; Optional 23英寸平板顯示器軟件 Vision64操作及分析軟件；應(yīng)力測(cè)量軟件；懸臂偏轉(zhuǎn)；縫合軟件；三維掃描成像軟件減震裝置減震裝置可用掃描長(zhǎng)度范圍 55mm (2英寸) 每次掃描數(shù)據(jù)點(diǎn)多可達(dá)120,000數(shù)據(jù)點(diǎn)樣品厚度 50mm (2英寸) 晶圓尺寸 200mm (8英寸) 臺(tái)階高度重現(xiàn)性 <5?, 1σ在1μm臺(tái)階上垂直范圍 1mm (0.039英寸) 垂直分辨率1? ( 6.55μm垂直范圍下) 輸入電壓 100 – 240 VAC, 50 – 60Hz 溫度范圍運(yùn)行范圍20 到 25°C (68到77°F) 濕度范圍 ≤ 80%, 無(wú)冷凝系統(tǒng)尺寸及重量 455mm W x 550mm D x 370mm H ?(17.9in. W x 22.6in. D x 14.5in. H); 34公斤(75磅);

附件：550mm L x 585mm W x 445mm H (21.6in. L x 23in. W x 17.5in. H); 21.7公斤(48磅)