第十代DektakXT臺(tái)階儀（探針式表面輪廓儀）

布魯克 DektakXT 臺(tái)階儀（探針式表面輪廓儀）是一項(xiàng)創(chuàng)新性的設(shè)計(jì)，可以提供無與倫比的重現(xiàn)性，重現(xiàn)性低于5?。臺(tái)階儀這項(xiàng)性能的提高達(dá)到了過去四十年Dektak技術(shù)創(chuàng)新的頂峰，更加鞏固了其行業(yè)地位。通過整合其行業(yè)產(chǎn)品，DektakXT實(shí)現(xiàn)了性能。操作簡易，從研發(fā)到質(zhì)量控制都有更好的過程控制。整合了技術(shù)突破到第十代Dektak臺(tái)階儀能夠在微電子，半導(dǎo)體，太陽能、超高亮度發(fā)光二極管（LED）、醫(yī)學(xué)、材料科學(xué)等行業(yè)實(shí)現(xiàn)納米級表面形貌測量。

DektakXT

Specifications規(guī)格

測量技術(shù) 探針輪廓技術(shù)

測量功能 二維表面輪廓測量

可選三維測量/

樣品視景 可選放大倍率, 1 to 4mm FOV

探針傳感器 低慣量傳感器 (LIS 3)

探針壓力 使用LIS 3傳感器：1 至 15mg

低作用力（選配） 使用N-Lite+低作用力傳感器：0.03至 15mg

探針選項(xiàng) 探針曲率半徑可選范圍： 50nm至25μm

高徑比 (HAR)針尖：10μm x 2μm和200μm x 20μm;

可按客戶要求定制針尖

樣品X/Y載物臺(tái) 手動(dòng) X-Y 平移：100mm (4 英寸)

機(jī)動(dòng)X-Y 平移：150mm (6 英寸)

樣品旋轉(zhuǎn)臺(tái) 手動(dòng)，360°旋轉(zhuǎn);

機(jī)動(dòng)：360°旋轉(zhuǎn);

計(jì)算機(jī)系統(tǒng) 64-bit 多核并行處理器, Windows? 7.0; Optional 23英寸平板顯示器

軟件 Vision64操作及分析軟件；

應(yīng)力測量軟件；懸臂偏轉(zhuǎn)；

縫合軟件；三維掃描成像軟件

減震裝置 減震裝置可用

掃描長度范圍 55mm (2英寸)

每次掃描數(shù)據(jù)點(diǎn) 多可達(dá)120,000數(shù)據(jù)點(diǎn)

樣品厚度 50mm (2英寸) 晶圓尺寸 200mm (8英寸)

臺(tái)階高度重現(xiàn)性 <5?, 1σ在1μm臺(tái)階上

垂直范圍 1mm (0.039英寸)

垂直分辨率 1? ( 6.55μm垂直范圍下) 輸入電壓 100 – 240 VAC, 50 – 60Hz

溫度范圍 運(yùn)行范圍20 到 25°C (68到77°F)

濕度范圍 ≤ 80%, 無冷凝

系統(tǒng)尺寸及重量 455mm W x 550mm D x 370mm H  (17.9in. W x 22.6in. D x 14.5in. H); 34公斤(75磅);

附件：550mm L x 585mm W x 445mm H (21.6in. L x 23in. W x 17.5in. H); 21.7公斤(48磅)