德國BMT WLI白光干涉儀的詳細信息
主要特點
0,1mm2到0,7mm2視場
采用釘合方式擴大視場配置物鏡切換盤確定垂直分辨率來設(shè)定測量時間橫向分辨率可達1祄，垂直分辨率可到5 nm?
具有采用微透鏡掃描盤的快速光學(xué)系統(tǒng)全自動數(shù)據(jù)評估實驗室和在線兩用設(shè)計
主要優(yōu)點：高保真輪廓復(fù)現(xiàn)，對物體三維結(jié)構(gòu)快速，非接觸式的定性和量化測量結(jié)果與材料表面性能無關(guān)根據(jù)用戶需求配置系統(tǒng)和軟件
無人干預(yù)全自動測量過程將微透鏡掃描盤自動伸出后可作為普通的顯微物鏡使用采用壓電驅(qū)動或步進電機進行垂直掃描
軟件:
Windows XP 操作系統(tǒng)
測量和評估軟件包括下列功能：??水平調(diào)整，圖像縮放， 輪廓線的提取，毛刺的剔除, 過濾，數(shù)學(xué)計算，F(xiàn)FT，ACF，2D/3D 粗糙度參數(shù)，面積的測定，斜度和波度的分布狀態(tài)及其它。?
用戶特定要求的計算方法 ?技術(shù)數(shù)據(jù)：共焦顯微鏡頭
標(biāo)準規(guī)格配置50x/0.8物鏡
帶有微透鏡掃描盤的掃描共焦傳感器?光源: LED壽命 h: > 50,000小時采用步進電機時的測量范圍mm：50mm采用壓電執(zhí)行器件時的測量范圍μm: 100/150μm垂直分辨率 nm: 5nm橫向分辨率μm: 1μm工作距離mm: 0.66mm視場μm: 370 x 280μm256個高度臺階的測量時間s: 約 30秒重量kg：約12kg?測量工作臺 X、Y、Z每軸位移mm: 50mm小步距μm?: 1μm
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主要用途：粗糙和光滑表面的測量和顯示亞微米范圍內(nèi)的微觀形貌測量金相測量非接觸式表面輪廓的計量主要特點
0,1mm2到0,7mm2視場
采用釘合方式擴大視場配置物鏡切換盤確定垂直分辨率來設(shè)定測量時間橫向分辨率可達1祄，垂直分辨率可到5 nm?
具有采用微透鏡掃描盤的快速光學(xué)系統(tǒng)全自動數(shù)據(jù)評估實驗室和在線兩用設(shè)計
主要優(yōu)點：高保真輪廓復(fù)現(xiàn)，對物體三維結(jié)構(gòu)快速，非接觸式的定性和量化測量結(jié)果與材料表面性能無關(guān)根據(jù)用戶需求配置系統(tǒng)和軟件
無人干預(yù)全自動測量過程將微透鏡掃描盤自動伸出后可作為普通的顯微物鏡使用采用壓電驅(qū)動或步進電機進行垂直掃描
軟件:
Windows XP 操作系統(tǒng)
測量和評估軟件包括下列功能：??水平調(diào)整，圖像縮放， 輪廓線的提取，毛刺的剔除, 過濾，數(shù)學(xué)計算，F(xiàn)FT，ACF，2D/3D 粗糙度參數(shù)，面積的測定，斜度和波度的分布狀態(tài)及其它。?
用戶特定要求的計算方法 ?技術(shù)數(shù)據(jù)：共焦顯微鏡頭
標(biāo)準規(guī)格配置50x/0.8物鏡
帶有微透鏡掃描盤的掃描共焦傳感器?光源: LED壽命 h: > 50,000小時采用步進電機時的測量范圍mm：50mm采用壓電執(zhí)行器件時的測量范圍μm: 100/150μm垂直分辨率 nm: 5nm橫向分辨率μm: 1μm工作距離mm: 0.66mm視場μm: 370 x 280μm256個高度臺階的測量時間s: 約 30秒重量kg：約12kg?測量工作臺 X、Y、Z每軸位移mm: 50mm小步距μm?: 1μm
