(一). 多功能電子束光刻設(shè)備Pioneer Two:

 Pioneer Two是一款比的成套的電子束光刻設(shè)備，采用30kV Gemini電子束技術(shù)，應(yīng)用于2英寸以下晶圓的納米級(jí)光刻、高分辨成像及低壓電子束光刻。

20keV下在HSQ膠上曝光亞8nm線條

(二). 多功能電子束光刻設(shè)備eLine Plus:

    eLine Plus是一款集成了納米操縱設(shè)備，如納米探針、用于聚焦電子束誘導(dǎo)過程的氣體注入系統(tǒng)等各種多功能選件的電子束光刻設(shè)備，廣泛應(yīng)用于學(xué)校和各大科研機(jī)構(gòu)，采用30kV Gemini電子束技術(shù)，應(yīng)用于4英寸以下基板的納米級(jí)光刻、納米工程、納米操縱、納米探測(cè)、納米輪廓儀、聚焦電子束誘導(dǎo)和成像分析等。

HSQ膠上制作亞5nm線條

(三). 型電子束光刻設(shè)備Raith150 Two:  

    Raith150 Two是一款高分辨電子束光刻設(shè)備，采用30kV Gemini電子束技術(shù)，應(yīng)用于8英寸以下基板（可曝光面積6英寸）的納米級(jí)光刻、高分辨成像及低壓電子束光刻，可實(shí)現(xiàn)亞5nm的曝光結(jié)構(gòu)。

HSQ膠上制作亞4.5nm線條及PMMA膠上制作精細(xì)的11nm線條

(四). 型電子束光刻設(shè)備Voyager:  

    Voyager是一款比采用的eWrite體系結(jié)構(gòu)的電子束光刻設(shè)備，采用50kV eWrite 電子束技術(shù)，應(yīng)用于8英寸以下基板（可曝光面積6英寸）的直寫，適合衍射光學(xué)元件、偽元件的加工及化合物半導(dǎo)體器件的加工。

HSQ膠上制作亞7nm線條

(五). 型電子束光刻設(shè)備EBPG5150/5200:  

    EBPG5150/5200是一款高自動(dòng)化的電子束光刻設(shè)備，采用100kV EBPG 電子束技術(shù)，應(yīng)用于8英寸以下基板（5150可曝光面積6英寸、5200可曝光面積8英寸）的高深寬比納米結(jié)構(gòu)曝光、電子束直寫，適合偽標(biāo)識(shí)的加工及化合物半導(dǎo)體器件的加工。

制作GaAs T型器件及在化合物半導(dǎo)體上的應(yīng)用

(六). 納米加工和納米光刻升級(jí)配件Elphy:  

    Elphy系列光刻升級(jí)配件可以將現(xiàn)有的SEM、SEM-FIB、HIM等聚焦離子束電子束系統(tǒng)升級(jí)為納米光刻和納米加工設(shè)備。