| 型號 | SH-6 | SH-8 | SH-12 | |
| 外形 | 820mm長*720mm寬*890mm高 | 960mm長*850mm寬*900mm高 | 1300mm長*920mm寬*920mm高 | |
| 重量 | 170公斤 | 約230公斤 | 約300公斤 | |
| 電力需求 | 220VC,50~60Hz | | | |
| 樣品臺 | 尺寸 | 6英寸，可360度旋轉 | 8英寸，可360度旋轉 | 12英寸，可360度旋轉 |
| 行程 | X-Y行程6*6英寸 | X-Y行程8*8英寸 | X-Y行程12英寸*12英寸 | |
| 移動 | 1um | | | |
| 樣品固定方式 | 真空吸附 | | | |
| 背電測試功能 | 有，樣品臺電學懸空 | | | |
| 針座平臺 | 規(guī)格 | U型平臺，多可放置6個針座 | U型平臺，多可放置10個針座 | U型平臺，多可放置12個針座 |
| 行程&調節(jié)方式 | 平臺可以快速升降，行程 6mm并帶自動鎖定功能;可以上下微調，行程25mm，升降1um | | | |
| 光學特性 | 顯微鏡行程 | X-Y軸行程2英寸*2英寸，Z軸：50.8mm | | |
| 顯微鏡移動 | 1um | | | |
| 切換鏡頭方式 | 顯微鏡快速傾仰30度 注1 | | | |
| 放大倍數(shù) | 20~4000X | | | |
| 鏡頭規(guī)格 | 目鏡：10X；物鏡：5X,10X,20X,50X、100X(選配) | | | |
| CCD像素 | 50W(模擬)/200W(數(shù)字)/500W(數(shù)字) | | | |
| 點針規(guī)格 | X-Y-Z行程 | 12mm-12mm-12mm/8mm-8mm-8mm | | |
| 機械 | 10微米/2微米/0.7微米/0.1微米 | | | |
| 漏電 | 10pA/100fA (配置屏蔽箱時) | | | |
| 接口形式 | 香蕉頭/鱷魚夾/同軸/叁軸接口 | | | |
| 應用方向 | 晶圓測試，光電器件測試，PCB/封裝器件測試，射頻測試，高壓/大電流測試等 | | | |
| 可選附件 | 卡盤快速拉出裝置 | | | |
| 顯微鏡傾仰裝置(傾仰30度) | | | | |
| 顯微鏡氣動升降裝置 | | | | |
| 激光微加工 | | | | |
| 探針卡夾具 | | | | |
| 顯微鏡暗場/DIC/Normarski 檢測光強/波長測試接口部件 | | | | |
| 液晶熱點偵測套裝 | | | | |
| 高壓/大電流測試套裝 | | | | |
| 帶真空底座的活動Chuck | | | | |
| 加熱臺 | | | | |
| 高低溫樣品臺 | | | | |
| 屏蔽箱 | | | | |
| 轉接頭 | | | | |
| 震臺 | | | | |
| 鍍金卡盤 | | | | |
| 同軸叁軸卡盤 | | | | |
| 樣品臺快速升降，微調升降裝置選件 | | | | |
| 樣品臺旋轉微調選件 | | | | |
| 光強/波長測試選件 | | | | |
| 射頻測試附件 | | | | |
| 有源探頭 | | | | |
| 低電流/電容測試 | | | | |
| 兼容積分球測試選件 | | | | |
| 光纖夾具耦合測試選件 | | | | |
| 封裝器件夾具 | | | | |
| PCB/封裝夾具測試選件 | | | | |
| 定制 | | | | |
| 注1 | 配置體式顯微鏡(放大倍數(shù)16~100X)時顯微鏡固定，無需切換鏡頭 | | | |
