型號(hào) | Flex-85 | |
外形 | 3,000mm(寬) x2,500mm(長(zhǎng)) x 2,500 mm (高 ) | |
重量 | 7500KG左右 | |
電力需求 | 380V,50Hz, hase, approx. 50A Max | |
能力 | 可樣品尺寸 | 3~85寸 |
可范圍 | 顯示區(qū)內(nèi)任何位置 | |
時(shí)間 | 120S左右每個(gè)像素(尺寸200um*100um的pixel) | |
適用產(chǎn)品類型 | Cell段產(chǎn)品(OLED面板,IPS,ON-CELL/IN-CELL等TFT面板),模組段產(chǎn)品(已貼偏光片,帶TP模組) | |
遮光性 | 修補(bǔ)顏色在模組背光下不可見(jiàn) | |
平臺(tái)功能 | Gantry結(jié)構(gòu) | 龍門(mén)式 |
X-Y-Z 行程 | 2000*1200*50mm | |
移動(dòng) | 0.1um | |
X-Y運(yùn)動(dòng)速度 | 0~200mm/s | |
Z 運(yùn)動(dòng)速度 | 0~2mm/s可調(diào) | |
定位 | AOI坐標(biāo)自動(dòng)定位 | |
光學(xué)特性 | 光路系統(tǒng)倍率 | 50X~ 1000X ,5X ,10X ,20X ,50X,100X Objects |
物鏡切換速度 | 0.2~0.7s | |
聚焦 | 激光自動(dòng)聚焦 | |
光學(xué)分辨率 | 0.7um | |
相機(jī) | 200W/500W像素工業(yè)相機(jī) | |
激光特性 | 激光系統(tǒng) | 激光切割系統(tǒng)(5~500 nj/Pluse Maximum@250KHz,20X object,532nm) |
能量調(diào)節(jié) | 0-1000 steps | |
0-100% | ||
激光波長(zhǎng) | 1064nm,532nm,355nm | |
脈寬 | 500fs | |
光斑尺度 | 0.8~1.5um @100X object | |
1.0~3.0um @50X object | ||
激光壽命 | >10年,維護(hù)間隔>6,000小時(shí) | |
掃描面能量均勻性 | 5% IR | |
工作模式 | Scan掃描式 | |
掃描形狀 | 可任意定義形狀 | |
工藝參數(shù) | 軟件可以添加任意組工藝參數(shù) | |
控制 | 工作模式 | 自動(dòng),實(shí)現(xiàn)數(shù)據(jù)的自動(dòng)導(dǎo)入和輸出,聯(lián)機(jī)通訊 |
手動(dòng)或者半自動(dòng) | ||
上下片 | 機(jī)械手或者流水線 | |
CIM系統(tǒng) | 有 | |
減震 | 主動(dòng)式減震系統(tǒng),能夠?qū)崿F(xiàn)50X 物鏡下畫(huà)面不抖動(dòng) | |
工業(yè)PC | 23寸顯示器&電腦:i7 處理器,1TB硬盤(pán)2塊(其中一塊為備份硬盤(pán)),8G內(nèi)存,1G顯卡,DVD-ROM | |
通訊接口 | RS232/EtherCAT/GPIB等 | |
整機(jī)帶屏蔽罩,操作人員在屏蔽罩外操作 | ||
緊急開(kāi)關(guān)EMO | ||
限位sensor,運(yùn)動(dòng)平臺(tái)和激光系統(tǒng)限位互鎖 | ||
Interlock報(bào)警,自動(dòng)關(guān)閉系統(tǒng)(軟件設(shè)置為可選) | ||
應(yīng)用 | TFT-LCD Panel亮點(diǎn)的,OLED Panel亮點(diǎn)的 |