外形

860mm*850mm*700mm

880mm*860mm*750mm

 1300mm*920mm*920mm

重量

180KG

250KG

380KG

電力需求

AC220V,50~60HZ

Chuck

尺寸

6inch

8inch

12inch

X-Y軸行程

6*6inch

8*8inch

12*12inch

X-Y軸移動解析度

0.04um/0.1um

X-Y軸重復定位

±1um

移動速度

≥ 50 mm/sec

Z軸行程

10mm

Z軸移動解析度

0.1um

Z軸重復定位

±1um

Theta角度行程

±15°

Theta角度解析度

0.0003°

光柵尺

帶光柵尺

樣品固定方式

多孔真空吸附，分區(qū)控制

切換樣品功能

樣品臺快速拉出

結構

同軸高壓設計，鍍金，電學懸空，可作為背電使用

針座平臺

規(guī)格

O型平臺，多可放置8個針座

O型平臺，多可放置10個針座

O型平臺，多可放置12個針座

行程&調(diào)節(jié)方式

平臺可以快速升降，行程 6mm并帶自動鎖定功能;可以上下微調(diào)，行程25mm，升降1um

控制方式

手動控制盒(可選擇帶操縱桿)

軟件控制

軟件功能

wafer map的編輯

儀器的接入

數(shù)據(jù)的采集和圖像化顯示

數(shù)據(jù)的分析

差異數(shù)據(jù)的標定Ink mark

自定義Bin分

自動測試

通訊接口：RS232/EtherCAT/GPIB等

大功率規(guī)格

配置

大功率kelvin樣品臺

大功率夾具線纜

mult-pin 分流探針

大功率保護模塊(針座用)

保護紅外光幕，人員誤進入工作區(qū)，觸發(fā)時interlock互鎖

大功率儀器連接模塊

測試電壓

10KV

測試電流

500A(脈沖)

光學特性

顯微鏡行程

2*2inch

顯微鏡行程

1um

放大倍數(shù)

20-4000X

CCD像素

50W(模擬)/200W(數(shù)字)/500W(數(shù)字)

點針規(guī)格

點針

10微米/2微米/0.7微米

X-Y-Z行程

12mm-12mm-12mm

漏電 

10pA/100fA

接口形式

香蕉頭/鱷魚夾/同軸/叁軸/SMA，SHV接口

溫控特性

溫度范圍

﹣100~200℃

﹣80~200℃

﹣60~200℃

溫控

溫度分辨率 ： 0.01°C

加熱電源

LVDC 低壓直流

控溫速率   

±0.1°C  /小時 

傳感器

Pt100

制冷方式

液氮制冷

減震

主動式減震系統(tǒng)，能夠?qū)崿F(xiàn)50X 物鏡下畫面不抖動

可選附件

chuck快速拉出裝置

顯微鏡傾仰裝置

激光

探針卡夾具

光強/波長測試接口部件

加熱臺

高低溫樣品臺(-80~200℃)

震桌

射頻測試

PCB板夾具

液晶熱點偵測套裝

屏蔽箱

卡盤鍍金

運用方向

晶圓自動測試，功率器件自動測試