壓電物鏡 壓電物鏡 壓電陶瓷物鏡 壓電物鏡掃描器 中國(guó)制造 研生 技術(shù)
納米級(jí)壓電物鏡 壓電物鏡 壓電物鏡 壓電陶瓷物鏡 壓電物鏡掃描器 ║P21系列
P21系列是采用壓電陶瓷驅(qū)動(dòng)的納米級(jí)壓電陶瓷物鏡,壓電物鏡內(nèi)部使用無(wú)摩擦及空回的柔性鉸鏈導(dǎo)向機(jī)構(gòu),壓電物鏡采用有限元分析優(yōu)化柔性鉸鏈結(jié)構(gòu),柔性導(dǎo)向系統(tǒng)具有的導(dǎo)向,且具有高剛性、高負(fù)載、無(wú)磨損、免維護(hù)等特點(diǎn),聚焦行程可達(dá)560微米,壓電物鏡內(nèi)置精密位移傳感器進(jìn)行全閉環(huán)的位置反饋,了壓電物鏡具有的運(yùn)動(dòng)控制,定位、分辨率和穩(wěn)定性可以納米量級(jí),定位穩(wěn)定時(shí)間為毫秒量級(jí)。壓電物鏡掃描器為無(wú)磁材質(zhì),使用過(guò)程中不產(chǎn)生磁場(chǎng)同時(shí)也不受磁場(chǎng)的影響。分立的螺紋轉(zhuǎn)接器,可適配多種型號(hào)的物鏡。
產(chǎn)品特點(diǎn):
◆ 結(jié)構(gòu)緊湊,易于集成,靈活的螺紋轉(zhuǎn)接器;
◆ 采用無(wú)摩擦高柔性鉸鏈導(dǎo)向系統(tǒng),快速響應(yīng);
◆ 內(nèi)置的壓電陶瓷,高性;
◆ 內(nèi)置精密位移傳感器進(jìn)行全閉環(huán)位置反饋,開(kāi)/閉環(huán)可供選擇。
產(chǎn)品應(yīng)用:
三維成像技術(shù) 篩選 干涉 計(jì)量 磁盤(pán)驅(qū)動(dòng)器測(cè)試 自動(dòng)對(duì)焦系統(tǒng) 共聚焦顯微鏡 半導(dǎo)體測(cè)試 生物技術(shù)
遼寧研生科技有限公司自主研發(fā)的產(chǎn)品涵蓋壓電陶瓷元件、疊堆壓電陶瓷、封裝型壓電陶瓷/促動(dòng)器、壓電納米定位臺(tái)/掃描臺(tái)、壓電平移臺(tái)/升降臺(tái)/偏擺臺(tái)/旋轉(zhuǎn)臺(tái)、壓電光束偏轉(zhuǎn)鏡、壓電顯微掃描平臺(tái)、壓電物鏡聚焦/掃描器、壓電紅外微掃描器、壓電微操作鉗、壓電微分頭、壓電馬達(dá)/電機(jī)、壓電螺旋促動(dòng)器、壓電點(diǎn)膠閥、壓電機(jī)床微進(jìn)給平臺(tái)、六軸并聯(lián)微位移定位系統(tǒng)、高位移傳感器、壓電陶瓷驅(qū)動(dòng)/控制器、高微位移測(cè)量系統(tǒng)等幾十個(gè)系列產(chǎn)品。
研生科技的納米級(jí)精密定位產(chǎn)品類(lèi)型豐富,運(yùn)動(dòng)自由度從一維至六維[X,Y,Z,θX, θY,θZ],運(yùn)動(dòng)行程從幾微米至幾千微米,承載能力從幾百克至幾百千克,推/拉力從幾牛頓至幾千牛頓,具有多種結(jié)構(gòu)類(lèi)型如疊堆式結(jié)構(gòu)、嵌套式結(jié)構(gòu)以及性能更優(yōu)異的并聯(lián)式結(jié)構(gòu)等,定位、分辨率和穩(wěn)定性可以納米量級(jí),定位穩(wěn)定時(shí)間為毫秒量級(jí),主要技術(shù)指標(biāo)已國(guó)際水平,可地替代產(chǎn)品。
研生科技的產(chǎn)品和技術(shù)主要應(yīng)用于前沿領(lǐng)域科學(xué)研究、半導(dǎo)體制造與檢測(cè)、生物顯微成像、精密光學(xué)系統(tǒng)、光電子對(duì)準(zhǔn)與封裝、光學(xué)跟蹤與掃描、精密加工、自動(dòng)化等領(lǐng)域。廣泛服務(wù)于各高校、科研院所以及各類(lèi)制造光學(xué)顯微檢測(cè)設(shè)備、激光加工設(shè)備、半導(dǎo)體IC設(shè)備、測(cè)量/檢測(cè)儀器、光電設(shè)備、光學(xué)儀器、設(shè)備、特種精密加工等的裝備制造商。